也可以同时用多种气体处理。 3. 焊接 通常，电感耦合等离子体质谱仪原理灰化 原子化 电离印刷电路板在焊接前应进行化学处理。焊接后，这些化学物质需要等离子去除。否则，可能会出现腐蚀和其他问题。等离子体表面处理的原理是在真空状态下，压力变小，分子间距离变大，分子内力越来越小。气体振荡成高反应性或高反应性离子。施加能量后，与有机污染物和细颗粒污染物发生反应或碰撞，产生挥发性物质，这些挥发性物质通过工作气流和真空泵去除，对表面进行清洁。清洁的目的。
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当电流相同时，等离子体质谱仪射频等离子体鞘层与等离子体面积的分布比例基本相同。在电流密度为 0.06 A/CM2 的情况下，随着放电间隙的逐渐增大，鞘层开始逐渐增大，无论是实验还是计算，当极板间隙增加到 500 μM 时，鞘层厚度基本会保留 215 μM。它在 M 内保持不变。等离子体区域的厚度从 μM 单调增加到 900 μM。
这不仅降低了反应粒子的浓度，等离子体质谱仪而且还冷却了等离子体，减慢或停止反应速率。 1 高频感应等离子发生器又称高频等离子炬或高频等离子炬。无极电感耦合用于将高频电源的能量输入到连续气流中进行高频放电。 2 电弧等离子发生器，也称为电弧等离子炬或等离子喷枪，有时也称为电弧加热器。这是一种可以产生定向低温（约2000-20000K）等离子射流的放电装置。
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（电磁干扰的预防 1）对于辐射电磁场强的零件和对电磁感应敏感的零件，要增加它们之间的距离或考虑加屏蔽罩。 (2)不要将高压分量和低压分量混在一起，不要将强信号和弱信号的分量交错。 (3)对于产生磁场的部件，如变压器、扬声器、电感等，在布局时要注意减少磁力线对印制线的断线，并注意走线的方向。相邻部件的磁场。使它们相互垂直，减少它们之间的联系。图 9-2 显示了与电感成 90° 的电感布局。
在反应室中，快速变化的感应磁场在反应室中产生感应电场，其中第一个电子获得能量，然后是冷等离子体。电感耦合等离子体的电子绕磁力线运动，自由程比电容耦合机大，可以在较低的压力下激发等离子体。等离子体密度可以比电容耦合等离子体的密度高两个数量级左右，电离率可以达到1%～5%。等离子体的直流电势和离子冲击能量约为20-40V。与电容耦合等离子体相比，电感耦合等离子体的离子通量和离子能量可以更适当和独立地控制。
3 静态二次离子质谱（SSIMS） 静态二次离子质谱（SSIMS）技术是1970年代发展起来的一种表面分析技术。用离子照射固体表面，从表面溅射出的二次离子被引入质谱仪。质量分离后，从检测记录系统获取待分析表面元素和化合物的成分。由于离子束入射到固体表面的穿透深度比电子的穿透深度浅，因此二次离子法是一种有效的表面分析方法。
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等离子体的“活性”成分包括离子、电子、反应基团、激发核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗剂利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，等离子体质谱仪达到清洗、改性、光刻胶灰化等目的。 （北京真空等离子清洗机）等离子清洗机的清洗原理是等离子是物质存在的状态，物质通常以固态、液态、气态三种状态存在，但在特殊情况下是第四种。有一种状态。 , 地球大气的电离层物质等。
