大气压辉光放电 (APGD) 长期以来一直受到人们的关注。 1933 年，宁德真空等离子清洗机中真空度下降的原因厂家冯·恩格尔在德国首次报道了这一发现。辉光放电是通过大气氢气和空气使用冷却的裸电极实现的，但必须很容易地转移到电弧并在低压或真空下点燃。该系统是密不可分的。 1988年，金泽等人报道了利用氦气在大气压下获得稳定APGD的研究结果，并通过实验总结了产生APGD必须满足的三个条件。 (1) 激励源的频率必须为 1 kHz 或更高。
例如，宁德真空等离子清洗机价格氧气、氮气、甲烷、水蒸气等混合气体大分子在高频电场处于低压形态，在光放电的情形下，可以分解加速运动的原子团和大分子，使粒子分解成电子和具有正负电荷的原子团和大分子。带电粒子和电子在电场加速时获得高能量，并与周围的大分子或原子团发生碰撞。因此，分子和原子刺激电子，并处于刺激形态和离子形态此时，化学物质存在的形态是等离子形态。
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