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2.2 蚀刻机制蚀刻机理的描述适用于所有类型的等离子体技术,而不仅仅是 RIE。一般来说,等离子蚀刻是化学蚀刻,而不是物理蚀刻。即,固体原子与气体原子反应形成化学分子,这些化学分子从衬底表面去除以形成蚀刻。由于VDC的存在,一般会有一定量的基板溅射,在很多刻蚀中物理刻蚀效果微弱,可以忽略不计。

要问闻到臭氧的气味会不会就造成人体的危害。 小编再此给大家打个比方,就好比大雷雨后,人们会闻到一股淡淡的鲜草味,其实就是臭氧的气味,当臭氧浓度达到0.02ppm就能闻到, 我们使用等离子清洗机产生的臭氧含量是极少的,因此是不会对人体造成危害的,如果还有这种担忧的话,建议您可以在使用等离子清洗机的车间内做好排风系统或打开电风扇即可。

制鞋业的发展战略的关键环节之1是走绿色健康(安)全的经济发展方式道路。而日前在环境方面困扰:企业的是工艺中使用的有(机)溶剂型胶粘剂和改性剂。这2种剂型原料,考虑到包含苯类、酮类易挥发有(机)溶剂,对人体和环境破坏较大,成了制造业中的众矢之的。有(机)溶剂型粘合剂逐渐被水溶性环保粘合剂取代,改性剂成了生产环境中较大的污染源。因此,制造业迫切需要代替剂型或技术改变现状。

.. (5) 等离子清洗机进行维修或保养时,必须先关闭等离子发生器的电源,然后再进行任何相关的维修工作。。等离子表面处理机 气体簇离子束蚀刻技术:等离子表面处理机 气体簇离子束蚀刻具有常规等离子蚀刻所没有的一系列特点。在传统等离子体中,电子和离子的能量分布很宽,少量的高能粒子可以穿透靶材表面的几层原子,破坏基体。因此,如何优化等离子表面处理机的等离子能量分布一直是等离子刻蚀技术发展的方向。

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