工艺气体:
真空等离子清洗机洗不干净首先应该考虑的第一个工艺因素是充入真空腔室进行反应的气体,气体基本上决定了清洗是否能达到要求。比方说,如果是清洗氧化物,就应该通入氩氢混合气体进行还原。清洗有机污染物,就应该通入氧气进行反应,如果在工艺气体选择上出现错误,再怎么调整功率时间,气体流量都是徒劳无功的。另外还有些污染物是无法通过等离子清洗去除的,如无机污染物,灰尘(清洗效果不怎么好)等。
氩气和氧气是等离子清洗中最常用的工作气体。根据应用目的不同,这两种气体可以单独使用,也可以组合或混合使用。
清洗时间和功率:
其他如果是出现清洗后有效果,但是效果不怎么好,这个时候就应该考虑其他工艺参数了,功率和清洗时间都和清洗效果有很大关系,功率加大清洗效果相对会变好,但也要注意过大的功率可能会造成产品表面损伤。同样适当延长清洗时间也会对清洗效果有帮助,(注意这不是绝对的),过长的清洗时间同样可能会造成产品表面损伤。
气体流量:
工艺气体流量越大,激发的等离子浓度越大,但流量变大容易导致激发困难及离子能量变小。气体流量越小,激发的等离子浓度相对越小,单流量越小,离子的阻力也相对越小,能获得能量更高的离子。综上,以化学清洗为主的清洗工艺,可以适当增加气体流量,以物理清洗为主的清洗工艺则可以考虑适当减少气体流量。
真空等离子清洗机清洗效果除与等离子清洗设备的参数设置有关外,也与样品形状及样品的放置有关。需要清洗的产品形状如果有被遮挡的部分,那么被遮挡的部分就很有可能洗不干净。另外,根据实际操作经验来说,产品放在正极的清洗效果往往会比负极要好。另外适当调整电极间距也能影响等离子清洗效果。