低温等离子清洗设备中真空系统是一个关键部分。真空系统提供保持等离子体产生时一定的真空度的处理气体以一定量进入真空腔体,一旦真空腔体https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli02.png达到产生等离子体所要求的真空度,等离子体发生器信号加到电极上便产生等离https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli02.png子体。处理气体通过真空系统中的流量控制器被导入真空腔体,由流量控制器控制每种处理气体精确流入保证低温等离子体处理材料的要求。
真空腔体是低温等离子清洗机真空系统中关键结构部分,等离子体的产生,各种材料的处理均在等离子清洗机的真空腔体中完成。
等离子清洗机真空腔体的作用
根据等离子体产生的压强条件，等离子体可以划分为低压（真空）等离子体和常压（大气）等离子体。对应的设备为真空等离子清洗机和大气等离子清洗机，低压等离子体是指在密闭真空腔内产生的等离子体，因为气体分子或原子在获取能量发生放电反应产生的等离子体，只有在很低的压强或真空条件下才能维持稳定存在，故此等离子体设备要求有可以抽成真空的反应装置。常压等离子体无需真空操作，直接在常压的条件下就可以产生等离子体。
真空等离子体可以获得更纯净的等离子体，因为它很容易控制密闭腔内的气氛。而且由于压力较低，等离子体可以扩散很远，并且等离子体因碰撞而损失的能量也较小，因此真空等离子体具有更好的处理效率；由于压力足够低，斑点效应也有助于提高清洗速度，甚至去除无机污染物。另外封闭的环境和使用的气体消耗量更小，并且可以使用特殊气体来增加工艺的灵活性和更广泛的应用范围。24694