辨别真空等离子清洗机正负电极板的方法一般来说工业生产中所使用的真空等离子清洗机常常会使用容性耦合（CapcitvielyCoupledPlasma，CCP）射频放电来产生等离子体，其放电结构如图1-1所示，由两部分组成：放电腔室和两块金属电极，一块极板需要牢固的接地，另一块极板经匹配器连接到等离子体源上，这就组成了平行板式容性耦合等离子体，这种结构的原型最早出现在20世纪70年代。当电源接通后,放电腔内的两平板电极组成的电容结构之间产生高频电场，电子在电场的作用下被赋能，做快速的往复运动，激发原子放电。由于电子的平均自由程要比放电腔室的尺寸大得多，这些电子会轰击在极板上并产生二次电子发射，从而获得电子倍增，这些金属极板上产生的二次发射电子将稳定地维持这种放电并起主要作用，而由气体电离所产生的二次发射电子起次要作用。
图 1-1 容性耦合等离子体放电装置我们所看到的真空等离子清洗机一般里面会有很多对电极板，这是因为多对放电极板不仅提高等离子体的均勾性，还成倍的增加了基片的装载量，可大大提高产能，尤其适用于实际生产中，具有广泛的应用前景。那么怎么分辨电极板的正负呢？下面为大家简单介绍一下，辨别真空等离子清洗机电极板正负的方法。
辨别真空等离子清洗机正负电极板的方法如下：
我们打开真空等离子清洗机的反应仓，会发现里面安装有若干电极板(亦有样品托盘的作用)。那么哪个是正极板，哪个是负极板呢。一般来说在真空等离子清洗机反应仓的后部安装有两个铜电极，其中左边为负极，右边为正极。每个电极条上有输出端与仓体侧壁的铝支撑对应。电极板能够充当反应电极是建立在其上面的插头与对应铜电极相连接实现的，电极条选择插入左边或者右边能够决定该电极板为正极或者为负极。一般真空等离子清洗机提供的清洗模式为直接等离子体模式。采用正、负电极相间隔放置的模式称为直接等离子体模式，这种模式的配置下所有的正负离子都会在两电极板流通而过且不会被彼此隔离，属于较强轰击性的方式。待清洗的物体可放在正极板上也可放在负极板上。辨别真空等离子清洗机正负电极板的方法00224815