使用传统清洁技术的化学试剂对环境极为有害。等离子辅助清洁。是化学清洗的替代品，金属材料表面强化与改性是一种安全环保的清洗技术。另外，真空等离子表面处理机的耗材与传统的清洗方式相比，其重要性也不大。目前，等离子清洗技术广泛用于清洗金属、聚合物和陶瓷的表面，去除混合电路和印刷电路板表面的残留金属，清洗生物医学植入材料，清洗硅。晶圆表面、清洁和考古文物修复。。
一类是导致轻杂质（氧、碳等）进入等离子体的机制；另一类是导致重（金属）杂质进入等离子体的机制。至于工作气体，金属材料表面改性工艺也经历了入射到壁、再释回等离子体的过程，一般称为气体循环。 对于等离子体和表面相互作用的研究可分为两个方面。理论工作主要致力于对一些过程的理解。如对溅射、起泡、单极弧、气体循环、边界层等现象建立相应的物理模型，并试图在物理参量间给出定量关系。
6.等离子体表面处理活化改性应用领域：汽车灯罩.刹车片.门封胶前的处理.机械工业中金属零件的微小.无害清洁处理；镜面及镀膜前处理；各种工业材料间接合封前处理；立体物体表面等改性处理。7.在许多工艺之前使用等离子表面清洗技术可以事半功倍，金属材料表面强化与改性其中粘接预处理、印刷预处理、连接预处理、焊接预处理、封装预处理等。
更改某些数据外观的能力。使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化，金属材料表面强化与改性增强这些材料的附着力、相容性和渗透性。去除金属数据表面的氧化层。要清洗消毒、灭菌。具有功能稳定、性价比高、操作简单、成本极低、易于保护等特点。金属、陶瓷、玻璃、硅、塑料等不同几何形状和粗糙度物体的超净改性。彻底清除样品表面的有机污染物。定时加工，加工速度快，清洗效率高。绿色环保，无需使用化学溶剂，无需采样，环保二次污染。在室温下，样品不经过超级清洗处理。
金属材料表面强化与改性
镀铝基膜等离子预处理:镀铝基膜预处理的目的是增加镀铝层的附着力，增加镀铝层的阻隔效果(如阻挡气体和光线)，提高镀铝层的均匀性。在等离子体预处理过程中，对基板膜表面进行清洗(如用水)和活化，即对基板膜表面进行化学改性，使铝金属原子的附着更加牢固。
(1) 使用低压和高密度等离子体的等离子蚀刻 (2) 薄膜太阳能电池的制造 (3) LCD、LED、OLED 和其他显示设备的制造和清洗 (4) 芯片键合预处理 (5) 金属氧化物的去除和清洗金属高精度净化 (6) 电连接器键合处理 (7) 材料表面处理与改性 (8) 等离子聚合介电薄膜和磁控溅射真空镀膜 (9) 消毒、生物、医学领域、种子处理、人体组织（伤口）处理（10）汽车传感器处理、污水处理、废气处理等。
单晶、光纤、精铌、钽、海绵钛等(2)高频等离子流速慢(约0～10m/s)，弧柱直径大。近年来，等离子发生器已广泛用于实验室，以促进大量的等离子工艺实验。在工业上制备金属氧化物、氮化物、碳化物或熔炼金属时，气相反应就足够了，因为反应物会在热区中停留很长时间。高频等离子炬可分为电感耦合、电容耦合、微波耦合和火焰类型，这取决于耦合功率和等离子体的不同方法。
选择适当的反应气体和工艺参数可以促进独特的特定反应，形成不寻常的聚合物附着和结构。通常可以选择反应物使等离子体与基材发生反应，从而产生挥发性附着。这些附着在被处理材料表面的附件可以由于解吸而被真空泵移除，并且表面可以在没有进一步清洗或中和的情况下被蚀刻。。在微电子生产过程中，等离子体表面处理技术已经开始成为一种不可或缺的工艺。而等离子表面处理设备，在行业中更为人所知的“等离子清洗机”，也越来越为人所知。
金属材料表面强化与改性
此时可减少出胶量，金属材料表面改性工艺降低成本(约可节省出胶量的1/3)。此外，与同类清洗机设备相比，等离子表面处理机在加工工艺上具有明显的优势。
此外，金属材料表面强化与改性难粘材质表层在等离子体的告知冲击下，分子链断裂交联，增加了表层分子的相对分子质量，改善了弱边界层的状况，对提高表层粘结性能也起到了积极的作用。经低温等离子体处理的材质表面活性显著提高，提高了表层粘结性，剥离强度大。四、难粘塑胶等离子体发生器表层处理具有以下特点1、改性仅发生在材质表面层，不影响基体的固有性能。
