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它通常含有自由电子、离子、氧自由基、中性粒子等。在这个系统中，冰雪路面附着力正电荷和负电荷的数量是相同的，并且在宏观上是电中性的。等离子主要用于对原材料表面进行冲击和表面改性。原料表面分子的化学键打开，与等离子体中的氧自由基结合，在原料表面形成极性基团。在低温等离子清洗设备中，各种离子需要足够的能量来破坏原材料表面的旧化学键。
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在等离子清洗机的相关技术方面，日本等离子清洗机品牌实际上通过引进技术、消化和积累经验，与欧美品牌在等离子基础研究上，部分日本等离子清洗机可以竞争。品牌对工艺和细节的把控非常好，设备质量稳定，结构和外观设计也体现了人性化设计。一些日本等离子清洗机品牌在具有日本特色的半导体、面板、新材料等领域也取得了良好的工业和市场应用效果。
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随着等离子体注入功率的增加，C2H4和CH4的产率有较低的增加趋势，这可能与C2H4和CH4是主要反应产物，而C2H2相对稳定有关。
排气是等离子清洗机产生等离子的重要方式之一。部分电离蒸气中的电子器件在外部静电场的作用下与中性分子发生碰撞，来自静电场的动能在未来转移到蒸气中。电子器件与中性分子之间的弹性碰撞增加了分子的动能，表现为温度升高。不是弹性碰撞，而是刺激（分子或原子内部的电子器件从低能跃迁到高能）、解离（分子被分解成原子）或电离（分子或原子的外部电子器件从键中自由电子）。热气通过传导、对流、辐射等方式将动能传递给周围环境。
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