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并且,过长时间的清洗可能会对材料表面产生损伤。(五)传动速度:对于常压等离子体清洗工艺,处理大物件时会涉及连续传动问题。因此待清洗物件与电极的相对移动速度越慢,处理效果越好,但速度过慢一方面影响工作效率,另一方面也可能造成处理时间过长产生材料表面损伤。(六)其他:等离子体清洗工艺中的气体分配、气体流量、电极设置等参数也会影响清洗效果。因此需要根据实际情况和清洗要求设定具体的、适合的工艺参数。
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等离子器具中的离子或高活性原子与表面污染物碰撞或形成挥发性蒸气，表面镀锌附着力检测标准然后通过真空系统去除，以达到净化表面的目的。在高频电磁场中，空气中的氧气如甲烷。在电弧放电的情况下，水蒸气等蒸气分子可以在高速电磁场中净化低压氧气。当电子被电磁场加速时，它会获得高能量并与周围的分子相互作用。或者，原子碰撞并重新激发原子中的分子或电子，电子本身处于激发态或离子态，物质存在的状态为等离子体。
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离子体清洗机可对材料表面进行表面清洗、表面活化、表面刻蚀： 清洗功能：等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。
清洗工作在真空中进行，清洗过程对环境安全（safe），不太可能造成环境污染，表面清洗不太可能是二次污染。真空等离子清洗机使用两个电极形成一个电磁场和一个真空泵来达到有效的真空度。它们碰撞形成等离子体并产生辉光。等离子体在电磁场中的空间运动，不断冲击被处理表面，去除表面油污、表面氧化物、灰分表面有机物等化学物质，使表面处理的清洁效果达到蚀刻（果）。
高频高压等离子体发生法在感应线圈上施加高频电场时，部分空气电离产生的带电粒子高速运动，与气体原子两次碰撞形成电离，在垂直于磁场方向的截面上形成封闭的环形涡流。根据涡流效应，电流频率越高，磁通变化率越大，感应电动势越大，涡流效应越显著，等离子体束流越稳定。由于高频交流电的涡流效应，等离子体束具有集肤效应。电流频率越高，穿透深度越小，趋肤效应越明显，等离子体中带电粒子越集中。
下图为电极板带水冷的射频低压真空低压等离子清洗机放电状态。。真空等离子表面清洗机线路板等离子处理在化学物理变化：真空等离子表面清洗机处理线路线的操作过程，时效性及处理方案，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的等离体，继而通过等离子体轰击加工面对象表面，产生微观上面剥离效果。
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