常压低温等离子体中的低碳烷烃转化反应:低碳烷烃(C1-C4)是一种高度丰富的碳烃资源,c4的油漆附着力需要多少广泛存在于天然气、油田气、煤层甲烷和催化裂化气中。随着全球石油资源的枯竭,以天然气、油田气、煤海藻甲烷为原料生产高附加值的化工原料显得尤为重要。由于低碳烷烃具有很强的化学惰性,因此在低碳烷烃的初始烯化反应中使用了高活性氧化剂 O2、N2O 等(Keller 等人的前身在 1982 年的甲烷氧化偶联中)。
这两种电介质的化学键能非常高,c4的油漆附着力需要多少通常需要使用由碳氟化合物气体(CF4、C4F8 等)产生的高反应性氟等离子体对它们进行蚀刻。上述气体产生的等离子体的化学性质非常复杂,往往会在基材表面形成聚合物沉积物,通常使用高能离子来去除上述沉积物。。等离子体促进有机和无机化合物之间的各种反应。 (1)氢化合物、挥发性卤素化合物、碳氟化合物、氟-氮化合物产生相应的高分子化合物。
因此,油漆附着力拉拔法检测主刻蚀步骤通常使用C/F比比较高、更容易产生C4F8、C4F6、CH2F2等聚合物的刻蚀气体。通过对主刻蚀步骤工艺参数的研究,结果表明CxFy/O2比值越高,二次条纹越小。这与产生大量聚合物的 CxFy 增加同时,O2 显着减慢了反应产生的聚合物的解离和去除速率。 Photo Photo 聚合物在照片表面的积累不断增加,为介电材料提供了全面的保护,使其免受大气等离子清洁剂等离子或化学品的影响。
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