等离子腔清洗和等离子脱胶过程中产生的污垢大部分接近电子级，腻子粉附着力差是怎么回事将用真空泵清除。但也会有一些大颗粒的污染物。这些大颗粒的污垢会粘附在腔壁、电极和托盘上。腔壁上有一层薄薄的“灰”，腔底下落更严重。用不滴刷清洁腔壁，使腔壁内颗粒、灰尘、异物脱落，用吸尘器吸出污垢。用浸有酒精的脱脂布擦拭，然后将N2和O2引入腔内，用等离子体去除腔内残留物，工作10min。2。电极和托盘的维护。经过长时间使用的翻新托盘和电极上会粘附氧化层。
用吸附能力较强的CN~来除去被污染的银表面层的方法；用烷烃硫醇来对金属表面的污染物进行替换吸附；选取Cl i来排除银颗粒表面的杂质；化学吸附碘离子结合电化学氧化的除杂方式；先用等离子清洗机，腻子粉附着力差再用醋酸浸泡的方法对自组装的金颗粒表面除杂等。 可见，针对不同的SERS基底和实验条件，除杂的方法也不尽相同。
可以整个工艺流水线的处理效率； 二、等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，腻子粉附着力差同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题； 三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。
在Ne&ASYMP；在Ni的前提下，腻子粉附着力差等离子体的电离度&α；可以定义为：当&α；&α时；>0.01，称为强电离等离子体；当&α；=1，它被称为完全电离等离子体。在热力学平衡体系中，电离与离子复合之间存在平衡，电离度-α；它只与粒子类型、密度和温度有关。下表显示了电离度&α；常压热平衡条件下氮等离子体的研究；随温度变化。
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