感应耦合等离子体刻蚀（感应耦合等离子体刻蚀去金属）

在真空设备清洗工艺中常与氩气结合使用，感应耦合等离子体刻蚀去金属可有效去除表面纳米级污染物。材料表面蚀刻的解决方案是选择性地使用反应性气体等离子体腐蚀材料表面。这会将腐蚀材料中的杂质转化为气体，并将其从真空泵中排出。亲水的。可引入氧气（O2）增强蚀刻效果，表面处理等离子清洗机可有效去除光刻胶等有机污染物。纳米涂层溶液，等离子清洗机处理，等离子感应聚合形成纳米涂层。

虽然聚丙烯分子的每个结构单元都有一个甲基，感应耦合等离子体刻蚀去金属但聚丙烯基本上是一种非极性聚合物，因为甲基是一种非常弱的极性基团。氟塑料，如聚四氟乙烯，由于其高度对称的结构，也是非极性聚合物。油墨和粘合剂在被粘材料表面的吸附是由范德华力（分子内力）引起的。范德华力包括定向力。 , 诱导和分散。非极性高分子材料的表面不具备产生取向力或感应力的条件，但仅产生微弱的分散力，因此粘合性能变差。

（电磁干扰的预防 1）对于辐射电磁场强的零件和对电磁感应敏感的零件，感应耦合等离子体刻蚀要增加它们之间的距离或考虑加屏蔽罩。 (2)不要将高压分量和低压分量混在一起，不要将强信号和弱信号的分量交错。 (3)对于产生磁场的部件，如变压器、扬声器、电感等，在布局时要注意减少磁力线对印制线的断线，并注意走线的方向。相邻部件的磁场。使它们相互垂直，减少它们之间的联系。图 9-2 显示了与电感成 90° 的电感布局。

分子链的非极性：聚乙烯是一种非极性聚合物，感应耦合等离子体刻蚀其分子链没有极性基团。聚丙烯的分子结构单元有-CH3，但-CH3是一个很弱的极。因此，聚丙烯基本上是一种非极性聚合物。由于其高度对称的结构，PTFE 等氟塑料也是非极性聚合物。如果粘合剂吸附在这些难以粘合的塑料表面，分散力会减弱，但取向力和感应力不足，粘合性能会变差。弱边界层：除了结构原因外，难粘塑料还与材料表面的弱边界层有关。

感应耦合等离子体刻蚀去金属

PP的分子结构单元是-CH3，但由于-CH3是极弱的极性基团，PP基本上是非极性的。 - 极性高分子化合物； PTFE等氟塑料由于其高度对称的结构，也是非极性高分子化合物。由于缺乏弱分散、取向和感应力，对这些难以粘附的塑料表面的粘合剂吸附导致粘合性能差。。

当灰尘、病毒、病毒等粒子通过过滤材料时，静电力不仅有效地吸引带电粒子，还捕捉到由静电感应效应引起的极化中性粒子。随着静电势的增加，静电吸附作用变得更强。一种静电驻极体装置，俗称无纺布和静电装置。驻极体处理的熔喷无纺布由于具有持久的静电，在静电的影响下可以捕捉细微的灰尘，具有过滤效率高、过滤阻力低的优点。

等离子清洗机的等离子清洗分类1、反应类型分类等离子与固体表面的反应可分为物理反应（离子冲击）和化学反应。物理反应机理是活性颗粒与被清洗表面碰撞，污染物从表面分离出来，最后被真空泵吸走。化学反应机理是各种活性粒子与污染物反应产生挥发物。物质和挥发性物质被真空泵吸走。基于物理反应的等离子清洗，也称为溅射刻蚀（SPE）或离子铣削（IM），其优点是不发生化学反应，清洗表面无氧化物残留，清洗后的物体可以保留。

由于它是在真空中进行的，因此没有污染环境，清洁表面也没有二次污染。真空离子清洗机是气体分子在真空、放电等特殊情况下产生的物质，产生等离子体的等离子清洗/蚀刻设备安装在密闭容器中。广泛用于表面脱脂/清洗等离子刻蚀、聚四氟乙烯（PTFE）/聚四氟乙烯混合刻蚀、塑料、玻璃、陶瓷表面活化/清洗、等离子涂层聚合等，汽车等精度高。场地。 、军用电子、PCB制造。

感应耦合等离子体刻蚀去金属

表面改性：纸张粘合、塑料粘合、金属焊接、电镀前表面处理；表面活化：生物材料表面改性、印刷涂层或粘合前表面处理（纤维表面处理等）；表面雕刻蚀刻：硅微加工、表面玻璃等太阳能场蚀刻处理、医疗器械表面蚀刻处理；表面接枝：在材料表面形成特定基团并固定表面活化；表面沉积：疏水或亲水等离子聚合沉积层；等离子清洗剂广泛应用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、污染控制等各个领域。

等离子孔清洗：等离子孔清洗是印刷电路板的主要应用。氧气和四氟化碳的混合物通常用作气源。决定控制气体的比例以获得更好的治疗效果。血浆活性的因素。等离子表面活化：PTFE（聚四氟乙烯）材料主要用于微波基板，感应耦合等离子体刻蚀去金属难以实现普通FR-4多层基板的孔金属化工艺。主要原因是化学镀铜前的活化过程。现有的湿法处理方法是利用萘钠络合物处理液侵蚀孔隙中的PTFE表面原子，达到润湿孔壁的目的。难点在于处理液合成难度大、毒性大、保质期短。