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2、气动调压阀:气动调压阀是气动控制的重要器件，其作用是将外接的压缩气体控制在所需的工作压力，并保其压力和流量稳定。无论是真空等离子清洗机还是大气等离子清洗机，在气体输入时都会安装气动调压阀，为保证气体的洁净度在使用时可加装气体过滤组件。下图为调压阀与过滤组件在大气等离子清洗机中的应用。为了方便查看气体压力，可在调压阀上安装压力表或选用带有压力表的调压阀。
等离子体清洗蚀刻生产等离子体的机器是将两个电极设置在密封的容器中形成电磁场，用真空泵实现一定程度的真空，随着气体越来越稀薄，分子之间的距离以及分子或离子之间的移动距离越来越长。在磁场作用下，碰撞形成等离子体，同时会产生辉光。等离子机等离子在电磁场空间中运动，轰击被处理物体表面，以达到表面处理、清洗和蚀刻的效果。
等离子体是各种物质存在的一种状态，是与固体、液体、气体等物质存在形式相同的一种状态，有人说等离子体是物质的第四种状态。事实上，太阳周围和宇宙中的大多数物质都以等离子体的形式存在。在生活中，我们也常见等离子体，最常见的是火焰，火焰可以看作是可燃物质释放能量，刺激空气等挥发性气体分解成等离子体状态，是最原始和贯穿的人工等离子体。
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