因此，电晕机的功率的选择在清洗前，可以通过仿真合理选择所需功率，既满足经济要求，又保证清洗效果和清洗效率。（2）等离子清洗机时间一般来说，既要保证清洗效果，又要花费较少的时间来提高清洗效率，但花费的时间与各种参数有关。一般功率越大，清洗时间越短，但耗电量越大。功率的增加会使反应室与部件之间的温度升高，同时还会引起许多其他问题，如部件被损坏、腐蚀等。
只要包装好，电晕机的注意功能参数就可以成为终端产品，然后投入实际使用。LED封装技术大多是在分立设备封装技术的基础上发展演变而来的，但它又不同于一般的分立设备，具有很强的特殊性。它不仅完成输出电信号、维持管芯正常工作、输出可见光等功能，还具有电参数和光学参数的设计和技能要求，不能简单地为LED封装分立设备。
蚀刻工艺在集成电路芯片封装中，电晕机的功率参数不仅可以蚀刻外部的光刻胶，还可以蚀刻底层的氮化硅层。通过调整真空等离子体刻蚀机的某些参数，可以得到特定的氮化硅层形状，即侧壁刻蚀倾角。氮化硅(Si3N4)是目前最热门的新材料之一，具有低密度、高硬度、高弹性模量、热稳定性好等特点，在许多领域有着广泛的应用。氮化硅可以在晶圆制造中取代氧化硅。
在稳态下，电晕机的功率的选择可以忽略轴对称、洛伦兹力和轴向热传导，在截面上气体压力和轴向电场均匀分布的条件下，等离子体发生器根据气体性质参数和管道的几何形状简化磁流体动力学基本方程，可以计算管道内气体的速度和温度分布以及电弧参数。由于电弧内电流密度大，等离子体发生器中往往存在磁流体动力学效应。当外磁场或自身磁场较强时，电弧受到洛伦兹力J&乘以；B（J是电流密度，B是磁感应强度）。
电晕机的功率参数
真空等离子体表面处理设备的消毒特性1.环保性，如医院临床常用的双氧水，经射频电磁场激发后形成血浆，同时可达到杀灭（细菌）的目的，不产生污垢，对环境不产生二次污染；2.真空等离子体设备在线测试程序可在启动和杀菌过程中在线测试程序运行参数。
在等离子体体系中，等离子体的主要作用是活化甲烷分子形成CHx自由基，自由基的类型和浓度由等离子体源及其能量相关参数决定；通过其表面性质，可以调节自由基在表面的定向复合反应，为自由基复合传递能量。原位发射光谱可用于诊断常压甲烷等离子体中激发活性物种。
1.表面清洗，在真空等离子体腔内，通过射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，用等离子体轰击被清洗产品表面，达到清洗的目的。2.表面（活性），经过等离子体表面处理的物体，表面能增强，亲水性强，提高附着力，附着力。3.表面刻蚀：利用反应气体等离子体对材料表面进行选择性刻蚀，刻蚀后的材料转化为气相，用真空泵排出。处理后的材料微观比表面积增大，具有良好的亲水性。4.纳米（米）涂层。
激励源是为气体放电提供能量的电源，可采用不同频率；真空泵的首要作用是清除副产物，包括旋片机械泵或增压泵；以及在真空室中具有放电电离的电极。反应气体转化为等离子体，反应气体通常由氩气、氧气、氢气、氮气、四氯化碳等单一气体，或两种气体的混合物组成。等离子体清洗的效果主要取决于许多因素，包括化学物质的选择、工艺参数、功率、时间、元件放置和电极结构。
电晕机的功率的选择
利用血浆中的活性自由基对材料表面进行肝素化或接枝抗血栓官能团，电晕机的注意功能参数增加材料表面的有效化学键合。材料表面改性的效果由一系列因素决定，包括材料基体的选择、抗血栓涂层的组成以及改性材料的使用寿命等。动物实验结果表明：血浆表面活化改性后，肝素包被的聚氨酯导管在使用30d后未出现蛋白质粘附；未包覆肝素的聚氨酯导管经血浆表面改性后仅出现少量蛋白质附着；但未进行等离子表面改性的液体导引管出现了严重的血栓。
