同时，CCPplasma清洗C2H6 本身与高能电子之间的非弹性碰撞很可能导致其 CC 键断裂，从而形成中间基网格，作为 CH4 形成的基础。因此，与等离子等离子体下的纯 C2H6 脱氢相比，C2H6 的转化率和 C2H2、C2H4 和 CH4 的产率随着 H2 浓度的增加而显着增加。将 H2 施加到 C2H6 的力的优点之一是它抑制了碳沉积物的形成。
CF4：蓝色 SF6：浅蓝色 SiF4：浅蓝色 SiCl4：浅蓝色 Cl2：浅绿色 CCl4：浅绿色 H2：粉红色 O2：浅黄色 N2：红色至黄色 Br2：红色 He：红色至紫色 Ne：红砖 Ar：深色red 即维护 与施加的真空度、施加的功率、激发频率、电极结构、气体种类等环境有关。 ..等离子清洗机中各种气体的清洗效果等离子清洗机中各种气体的清洗效果是由于等离子清洗工艺的材料和要求的不同。
表 3.9 不同刻蚀机侧面形貌和宽度的差异 WaferCDBottom-CDMiddle / nmICP EtcherCCP Etcher10.9220.52.530.31.7412.4512.260.60.3Average0.71.6 除了均匀性，CCPplasma清洗机器top 在等离子清洗设备的侧壁刻蚀工艺中。损耗也是侧壁蚀刻的一个重要参数。低顶部高度损失会影响多晶硅栅极的金属化厚度并增加金属栅极的电阻。
一般来说，CCPplasma清洗锗蚀刻具有高纵横比和多层结构。在蚀刻过程中需要许多方法来保持良好的图案转移。基于氯（400W，200sccm，ER ~ 200Å/s）的蚀刻不会损坏边界界面（侧边界网格保持完整）。这对于高性能设备非常重要，并且可以避免损坏电网的后续修复。虽然蚀刻本身难度较大，但事实证明，侧壁图案的控制不足，无法获得约 75° 的图案角度，难以满足实际需要。
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等离子表面处理器的电源整流器不需要VCC来提供电路转换所需的瞬态电流，电容相当于一个小电源。因此，电源和接地端的寄生电感被绕过。没有感应电压，因为寄生电感在一段时间内不流动。通常将两个或多个电容器并联，以降低电容器本身的串联电感，降低电容器充/放电电路的阻抗。注：电容器放置、设备间距、设备方式、电容器选择等离子表面处理设备的作用1、工作原理概述：在表面获得等离子处理活性基团，产生高能混沌等离子体。
环保，具有绿色环保的特点。成本低：设备简单，操作维护方便，可连续运行。因此，采用等离子体高分子材料改性技术可以克服常规方法使用的不足，使高分子材料的表面处理更符合环保原则。等离子体中富含离子、电子和紫外光子等活性粒子。在等离子体表面处理过程中，这些反应性粒子与 PET 表面的分子碰撞，破坏表面化学键（CC、CH 和 CO）形成自由基。
等离子体的能量足以去除各种污染物，而氧离子可以将有机污染物氧化成二氧化碳和蒸汽，可以从机舱内排出。等离子清洗不需要任何其他原料，使用方便，无污染，只要空气符合要求。同时，等离子不仅可以清洗表面，而且比超声波清洗有很多优点。 , 但更重要的是，它可以提高表面活性。等离子体与物体表面之间的化学反应产生活性化学基团。这些化学基团具有高活性，具有广泛的应用，例如提高材料的表面附着力、提高焊接能力、粘合性和亲水性。
5.大气等离子清洗技术基础理论研究大气等离子清洗技术基础理论研究包括表面技术研究、大气等离子清洗基础理论研究、涂层结合机理和涂层结构研究、喷涂粉末颗粒温度和速度测试等。 , 涂料性能科学研究等综上所述，大气压等离子清洗技术的发展可从五个方面进行阐述。你可以和你的朋友聊天。如有问题需要讨论，请积极咨询小编。。五个方面涵盖了等离子发生器在车辆组件上的应用。五个方面涵盖了等离子发生器在车辆总成中的应用： 1。
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多种塑料制品包括涂装前回春清洗、粘着前回春清洗、标签前打码前贴清洗活化等。等离子清洗作为传统清洗方式的替代，CCPplasma清洗显着提高了生产效率，提高了产品的清洗效果。稳定性和均匀性。预涂胶鞋：作为一般消费者，在购买鞋子的时候，经常会遇到穿上一段时间后开胶的现象。那么脱胶现象呢？我该如何处理我的鞋子脱胶？很多朋友会认为鞋子是假的实际上，品牌产品有多种原因，但作为制造商，这实际上是一种痛苦。
