等离子体原理与超声波清洗原理相同，附着力相似的原理当模块内接近真空时，射频通电，打开气体电离，等离子体，并伴随着辉光放电，等离子体在电场的作用下加速，从而在电场的作用下高速运动，表面发生物理碰撞，等离子体的能量足以去除各种污染物，同时氧离子可以将有机污染物氧化成二氧化碳和水蒸气带出客舱。
传统的清洗方法无法去除粘接区表面的微颗粒、有机物和表面氧化物，当切向力与附着力相等时一般采用射频等离子火焰机清洗技术进行清洗。等离子体是固体、液体或气体等物质的一种状态。当施加足够的能量使气体游离时，它就变成了等离子体。等离子体的活性成分包括离子、电子、活性基团、受激核素(亚稳态)、光子等。等离子体火焰机技术是利用等离子体中的活性粒子“激发(有源)原理”对样品表面进行处理，以达到去除物体表面污渍的目的。
使用这种等离子技术，附着力相似的原理可以根据特定的工艺需求，高效地对材料进行表面预处理。 等离子清洗机则是物理清洗设备中的一种。它的工作原理是等离子清洗机采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。等离子清洗机外接一台真空泵，工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗程度达到分子级。
到达基板的电子一部分与离子复合，附着力相似的原理还有一部分剩余，从而在基板出现净负电荷积累，这样基板表面呈负电势。该负电势将排斥后续电子，同时吸引正离子。直到基板负电势达到某个值，使离子流与电子流相等时为止。由于基板呈负电势，则在基板与等离子体交界处形成一个由正离子构成的空间电荷层，即离子鞘层。等离子体分类按温度分类：高温等离子体和低温等离子体。高温等离子体是高于 00℃的等离子体，如聚变、太阳核心。
当切向力与附着力相等时
其主要特征是：粒子间存在长程库伦相互作用；等离子体的运动与电磁场的运动紧密相耦合；存在极其丰富的集体效应和集体运动模式。等离子体可分为热力学平衡等离子体和非热力学平衡等离子体。当电子温度 Te和离子温度 Ti及中性粒子温度 Tg相等时，等离子体处于热力平衡状态，称之为平衡态等离子体或热等离子体，其温度一般在 5×103K 以上。如太阳表面，由于处于 6000℃以上的高温，所有的物质均处于等离子状。
等离子体整体呈电中性, 它是除固态、液态、气态外的物质第四种状态。在所产生的等离子体中, 当电子温度与离子温度及气体温度相等时, 该等离子体称为平衡等离子体或高温等离子体;当电子温度远高于离子温度和气体温度时, 该等离子体为非平衡等离子体或低温等离子体。目前, 用于材料表面改性的主要是低温等离子体。
与固相、液相、气相不同，被称为物质存在的第四态，也就是这些物质在字宙中绝大多数物质的存在状态。
真空等离子体设备的表面处理通常是等离子体作用的一种，它引起表面分子结构或原子排列的变化。等离子体处理可以在低温下产生高活性基团，甚至在惰性环境，如氧或氮。在这一过程中，等离子体还会产生高能紫外光，与快速生成的离子和电子一起，提供打破聚合物键和产生表面化学反应所需的能量。在这个化学过程中，只有材料表面的几个原子层参与其中，聚合物的体积特性使其能够保持变形。
当切向力与附着力相等时
在等离子体产生的详细过程中，当切向力与附着力相等时大气压等离子体清洁器通过枪电极将水和无油压缩空气或 CDA 电离形成等离子体。在真空等离子清洗机中，首先将反应室抽真空至真空状态，然后通入反应气体，使反应室内保持一定的真空度。。等离子清洗机中的等离子根据产生方法和温度可分为两类。工业活动中使用最多的等离子清洗机所产生的等离子，实际上是一种人工产生的低温等离子。让我们仔细看看这两种等离子体。
当大气等离子体清洗机的电场频率超过1GHz时，附着力相似的原理就属于微波放电，简称MW放电。常用的微波放电频率为2450MHz。。常压等离子体清洗机表面处理技术在微电子工业中的应用；目前，常压等离子体清洗机表面处理技术已逐渐成为微电子工业生产加工中不可缺少的技术。
