plasma所需的等离子体技术主要是在真空、放电等特殊场合产生的plasma所需的等离子体技术主要是在真空、放电等特殊场合产生的。低电压气体辉光法是一种依靠等离子体的有效成分进行反应。它的主要过程包括：先将需要清洁的工件送到真空系统固定，真空泵等设备逐渐将真空排出约10Pa的真空度；然后将等离子清洗气体导入真空系统。根据清洗材料的不同，可选用不同的气体，如氧、氢、氩、氮等。
在电子工业中属于干式清洗，需要真空泵制造一定的真空条件以满足清洗需求。让我们看一下plasma的操作流程和注意事项。
（1）、低温plasma运行时对电源的要求是：交流220V/380V频率为50/60Hz，也有3/12.5kw，具体选择哪种配置要根据需要来确定，启动前应做好电源的接通和检查工作，设备运行后应发出平滑的运行声，而且一般有绿色指示灯常亮以显示设备正常运行，如有黄色故障灯亮起，应停止运行进行检修。
（2）、使用低温plasma时，塑料制品和橡胶模具应特别注意红色警示灯。当设备频繁运行或抖动时，红色警示灯总是亮着。此时，应立即按下复位键观察设备。如果设备仍有异常，应立即停止设备运行，然后进行故障检查，以避免设备损坏。
（3）、使用低温plasma时，塑料制品和橡胶模具应定期清洗，清洗时必须先断开电源，然后才能打开腔体和电控箱，并注意按照说明书要求的规范进行清洗。此外，许多低温等离子清洗机的腔体都是外置环形电水平，不容易造成内腔污染。plasma所需的等离子体技术主要是在真空、放电等特殊场合产生的00224276