侧壁表面的氯原子减少了吸附在侧壁上的氟原子,等离子工业清洗机从而减少了侧面刻蚀,提高了刻蚀的各向异性,实现了对侧壁轮廓轮廓的良好控制。在蚀刻过程中,添加CHF3、N2和CH4等气体,以快速生成聚合物并保护侧壁。这优先将氟、氮或碳氢化合物吸附到金属铝的侧壁,进一步减少氯原子。铝侧壁接触并反应以保护侧壁,增加氯基气体对金属铝的各向异性蚀刻能力。等离子工业清洗机研究了这三种不同气体对蚀刻后金属铝侧壁形态的影响。

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③ 金属铝的主蚀刻, 通常配备反应产物检测器,等离子工作时什么材料不容易吸附组织用于检测金属铝的蚀刻停止。 ④ 去除铝渣的过蚀刻。该步骤可以是主蚀刻步骤的继续。 ⑤ 底部阻挡层蚀刻(可与步骤④结合)。 ✧ 防止侵蚀性蚀刻残留物的去除(可选结合以下步骤) ✧ 去除光刻胶。用等离子工业清洗机蚀刻铝金属后,要适当控制铝金属的腐蚀。蚀刻过程中残留的副产物具有腐蚀性(主要含有氯成分,大气中存在氯离子)。

塑料材料通常需要粘在金属或其他塑料材料上,等离子工业清洗机或者简单地印在塑料表面上。为此,必须用液体胶水或墨水润湿材料表面。在这里,需要等离子工业清洗机的等离子处理技术。表面的润湿性取决于表面的一种特殊性质,即表面能,通常称为表面张力。表面能:表面能与表面张力相同,以mn/m表示。固体基材的表面能直接影响液体在表面的润湿性。另一方面,通过测量接触角可以很容易地证明润湿性能。接触角是接触点的切线与固体表面水平面之间的夹角。

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