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我们的设备在空气处理中往往能达到许多其他同类设备无法达到的效果。 13.56MHz 等离子体的电场频率振荡较高，山东真空等离子处理设备电子在转向前的行进距离比 40KHz 射频等离子体短。这意味着在每个运动周期中可以到达设备表面的粒子更少。结果，表面不易受到颗粒的影响，降低了清洁的效率和有效性，并直接影响生产。产品质量和产量。
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1-1. 芯片等离子清洗机原理-表面活化以增加粘合强度等离子清洗机包括反应室、电源和真空泵组。将芯片样品放入反应室，山东真空等离子处理设备真空泵启动到一定程度，接通电源产生等离子体，然后将气体引入反应室，在反应室内产生等离子体。变成反应等离子体。它与样品表面反应产生挥发性副产物，由真空泵排出。
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它的基本原理是在真空低气压下，ICP 射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈，以一定份额的混合刻蚀气体经耦合辉光放电，产生高密度的等离子体，鄙人电极的RF 射频作用下，这些等离子体对基片外表进行炮击，基片图形区域的半导体资料的化学键被打断，与刻蚀气体生成挥发性物质，以气体形式脱离基片，从真空管路被抽走。 刻蚀机和光刻机的差异 刻蚀相对光刻要容易。
表面等离子体-基本原理： 表面等离子体场分布特性表面等离子体（Surface Plasmons，SPs）是指在金属表面存在的自由振动的电子与光子相互作用产生的沿着金属表面传播的电子疏密波。 其产生的物理原理如下：在两种半无限大、各项同性介质构成的界面，介质的介电常数是正的实数，金属的介电常数是实部为负的复数。
亲水性：等离子清洁剂增加亲水性并改善吸附表面润湿性6.附着力：促进材料的附着力，等离子清洗机可以提高表面附着力的可靠性和耐久性7.吸附：适用于材料表面的涂层和涂漆。无加工、预印、不褪色、不掉漆8.聚合：化学键改变聚合物的表面，实现聚合物材料的结合能。9.活化：产生材料表面，破坏分子间的化学键，改变表面结构，提高表面张力值。。
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朗缪尔探针其实是一种静电探针，山东真空等离子处理设备工作原理它发明时间较早，且诊断方法也比较容易理解，因此现如今仍在沿用，比较具有代表性，这种静电探针方式是通过将一根金属探针插入到等离子体当中，并且在探针上施加正或负的偏置电压，从而来收集电子或离子电流。跟其他任一电极相同，探针的周边会产生一个鞘层，而且其面积通常是很小的，因而，在某些适当的条件下，探针法只对等离子体产生很小的局域干扰。下面的图片表示出一个探针的电压和电流的定义。
如果真空等离子清洗机的真空室是空的，山东真空等离子处理设备如果你正在加工其他产品，如果设备没有真空等离子清洗机，真空等离子清洗机是否能在50S内抽到30Pa等反向真空？应确定指示真空泵正在泵送的警报。容量没有问题，整个真空发生系统没有漏气。从真空等离子清洗机设备运行情况来看，设备运行平稳。如果在设定的时间内不能抽反真空，如200S，则会触发报警。这主要与被加工产品的材料有关，通常称为“材料脱气”。
