甲烷脱氢在等离子体中产生的C2H6和C2H4会进一步与高能电子反应形成C2H5和C2H3自由基，电晕机高压短路因此可以推测甲烷脱氢反应产生的微量C3和C4产物主要遵循以下途径：CH3+C2H5+M&Rarr；C3H8+M(3-21)CH2+C2H6+M&RARR；C3H8+M(3-22)CH3+C2H3+M&RARR；C3H6+M(3-23)CH2+C2H4+M&Rarr；C3H6+M(3-24)C2H5+C2H5+M&RARR；C4H10+M(3-25)光谱分析结果表明甲烷在等离子体下脱氢主要是自由基过程，因此多种反应途径并存。
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用这种方法可以事半功倍，往往能快速找到故障点。要有一个电压电流可调的电源，电压0-30V，电流0-3a，这个电源不贵，大约300元左右。将开路电压调整到器件的供电电压电平，首先将电流调整到较小的电平，将此电压施加到电路的供电电压点，如74系列芯片的5V、0V端子，视短路程度缓慢增加电流，用手触摸器件，当触摸到发热明显的器件时，这往往是损坏的元件，可以拆下进一步测量确认。
如果燃气没有问题，请检查减压表、气路电磁阀、流量计工作是否正常。检查电路是否开路或短路。5真空等离子清洗机放空气体压力太低，请检查气体是否打开或气体是否排出如发生此类报警，请检查真空等离子清洗机腔体底部用于破真空的气路电磁阀是否正常工作，线路是否开路或短路。6真空等离子清洗机真空室门未关闭，请关闭真空室门（1）如果真空等离子清洗机的真空室门没有关闭，启动设备时就会出现这种报警。请关上真空门。
可能的原因是CHx自由基容易附着在催化剂表面，吸附位点合适，导致CHx自由基偶联生成C2烃的几率增加。对于NiO/Y-Al203来说，这不仅是由于CO2转化率高和体系中的CO2转化率高，而且是由于CO2转化率高除了C、0结合可提高CO收率外，CHx自由基在催化剂表面吸附时，还被吸附在催化剂上的活性O原子氧化成CO。在相同的实验条件下，考察了NiO负载量对2烃和CO产率的影响。
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