由于功率大，山西真空等离子处理设备厂基片温度高，所以应根据技术需求调理功率。 三、 调整适合的真空度： 恰当的真空度，可使电子运动的平均自由程变大，因而从电场取得的能量就大，有利电离。别的当氧气流量必守时，真空度越高，则氧的相对份额就大，发生的活性粒子浓度也就大。但若真空度过高，活性粒子浓度反而会减小。
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