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就经济可行性而言，低温等离子体刻蚀机本身的系统组成单一、紧凑。在运行成本层面，微观上讲，由于放电过程只是提高了电子温度，离子温度基本保持不变，反响应系统可以保持低温。因此，低温等离子体设备不仅能量利用率高，而且维护成本低。低温等离子体工艺在处理蒸汽污染物方面具有明显的优势。其基本原理是在电场加速时产生高能电子。由于电子的平均能量大于目标处理物质的分子键能，分子键断裂，进而去除蒸气污染物。
在线等离子清洗设备在HDI板材的盲孔清洗过程中，一般将等离子体分为三个阶段：用高纯N2生产等离子体，同时对印刷板材进行预热，使聚合物材料处于一定的活化状态；第二阶段，以O2、CF4为原始气体，混合后产生O、F等离子体，与丙烯酸、PI、FR4、玻纤等反应，达到净化效果；第三阶段，以O2为原始气体，以O、F为残留反应，使孔壁保持干净。该清洗工艺除进行等离子化化学反应外，还与材料表面进行了物理反应。
具有抗反射和自清洁特性的表面越来越受到关注，因为它们对太阳能电池长期户外存储表面的灰尘污染物覆盖有严重影响。这种抗反射涂层是通过物理或单层膜或通过化学方法制备的多层膜来实现的。其功能原理是将薄膜的厚度控制在波长的1/4左右。入射光使该波长的入射光在界面发生干涉以实现减反射，或通过制备涂层实现从空气到玻璃的折射率梯度以实现减反射。
指纹也适用。这种处理应该是氢气或氢气和氩气的混合物。有时采用两步加工。用氧气氧化表面5分钟，然后用氢气和氩气去除。几种气体可以同时处理。印刷电路板焊接前一般用化学焊剂处理。焊接后必须用等离子法去除这些化学成分，否则会产生腐蚀等问题。良好的结合常常被电镀、键合和焊接操作中的残留物削弱，这些残留物可以通过等离子体方法选择性地去除。同时氧化层对键合质量有害，需要等离子清洗。
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塑料薄膜质轻透明，聚异丁烯是亲水性材料吗耐氧防潮，光滑耐用，在性能和价格上都有优势，所以在现代包装印刷中可以得到很好的效果，但塑料薄膜是非极性的，它是一种性聚合物材料本身润湿性较差。 , 油墨难以附着，耐变色性差。如果不经预处理直接附着油墨，容易脱落，印刷效果差，影响印刷包装效果。此外，预处理可以提高后续塑料薄膜如涂料、配方和青铜的加工质量。因此，薄膜材料在印刷前必须采用表面等离子处理装置或其他预处理方法进行处理。
