具体的等离子清洗过程主要是基于等离子溅射和蚀刻所引起的物理化学变化。在物理溅射过程中，对不锈钢附着力好的树脂等离子体中高能离子脉冲的表面轰击会导致表面原子的位移，在某些情况下还会引起亚表层原子的位移，所以物理溅射没有选择性。在化学蚀刻过程中，等离子体中的活性基团与表面原子和分子发生反应，产生可被抽走的挥发性物质。在等离子体蚀刻工艺中，通过选择不同的工艺参数，可以对不同的材料实现高度选择性的化学反应蚀刻。
针对不同的清洗对象，不锈钢附着力好不好可选择O2、H2、Ar等气体进行短期表面处理。目前广泛采用的清洗方法主要有湿法清洗和干洗。湿法清洗有很大的局限性，从对环境的影响、原材料的消耗以及未来的发展来看，干洗明显优于湿法清洗。其中，等离子清洗发展迅速，优势明显。等离子体是指电离气体，是电子、离子、原子、分子或自由基等粒子的集合。
（等离子表面处理）由于等离子中粒子的不同，对不锈钢附着力好的树脂可以用来处理物体的原理不同，输入气体和控制功率也不同，对物体的处理也是多样化的。 (等离子表面处理) 由于物体表面的低温等离子强度比高温等离子弱，因此可以保护待处理物体的表面。大多数使用的应用是低温等离子体。 它对不同粒子的对象处理过程也有不同的影响。原子团（自由基）主要在活化化学反应过程中实现物体表面能量转移的作用。有两个主要功能。
有组织排放源的恶臭气体工艺简单、管理方便、设备运行成本低且产生二次污染，不锈钢附着力好不好有必要对洗涤液进行处理；净化效率低，应与其他技术结合使用，对水溶性差的物质处理效果差。药液吸收法利用气味中的某些物质与药液发生化学反应，去除部分气味成分，适用于处理大气体积。高浓度或中浓度的臭气可以有针对性地处理某些臭气成分。工艺成熟，净化效率不高，吸收剂消耗大，易形成并造成二次污染。
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等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。
最常见的是氩和氧的混合物。氧为活性较高的气体，可以有效地或有机基质表面化学分解有机污染物，但其颗粒相对较小，破碎关键和轰击能力有限，如果再加上一定比例的氩气，然后等离子体对有机污染物或基材表面的破碎关键和分解能力更强，加快了清洗和活化的效率。氩氢混合应用于制丝和键合工艺中，除了能增加焊盘的粗糙度外，能有效去除焊盘表面的有机污染物，同时减少表面的轻微氧化，被广泛应用于半导体封装和SMT行业。。
原子和离子的速度在它们与表面碰撞之前达到。随着等离子体的加速，它需要更高的能量，可以加速等离子体中的原子和离子。为了增加原子碰撞前的平均距离，即路径越长，离子与清洁产品表面碰撞的可能性就越大，需要较低的电压。这样就得到了表面处理、清洗和蚀刻的效果（清洗过程是轻微的蚀刻过程）。清洁后，污垢和气体被排出，空气恢复正常大气压。
清洗工作在真空中进行，清洗过程对环境安全（safe），不太可能造成环境污染，表面清洗不太可能是二次污染。真空等离子清洗机使用两个电极形成一个电磁场和一个真空泵来达到有效的真空度。它们碰撞形成等离子体并产生辉光。等离子体在电磁场中的空间运动，不断冲击被处理表面，去除表面油污、表面氧化物、灰分表面有机物等化学物质，使表面处理的清洁效果达到蚀刻（果）。
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