也适用于后期现代无机材料电子学它更有可能是移动的。 (2)铜基板:铜基板是昂贵的金属基板之一,硬板plasma刻蚀其导热性比铝基板和铁基板好很多倍,适用于高温和低温之间变化的高频电路很大。用于精密通讯设备的散热和建筑装饰。如果使用散热功能,还有陶瓷基板,属于无机材料。 1 硬板 硬板是由 PVC 制成的板。 PVC硬板是工业中应用广泛的产品,特别是在化学防腐行业。
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因此,硬板plasma刻蚀为解决氮化钛残渣与选择性比之间的矛盾,提出了有机基板的部分去除方案。在该方案中,通过控制有机衬底的开口时间,在沟槽中留下足够的有机物来保护底部的氮化钛,从而避免刻蚀方向和选择性这两个要求的不一致。因此,您可以使用 CF4 / CHF3。这种低选择性蚀刻配方同时蚀刻侧壁上的氧化硅、氮化钛,以及光刻胶未覆盖区域的沟槽中的有机物,然后用等离子清洁剂进行蚀刻。
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表面层去污、活化和涂层处理是很有前景的环保金属表面改性处理技术。一、等离子处理设备的特点 1、环保技术:等离子离子处理设备的工作过程是气气相干反应不消耗水资源,硬板plasma刻蚀不添加化学物质,不污染环境。 2、适用性广:无论被加工物的种类如何,都能很好地加工复合材料、半导体材料、金属氧化物和大部分高分子材料。 3、低温:接近常温,特别适用于高分子材料,比电晕法或火焰法储存时间长,表面张力高。
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