等离子清洗机具有工艺简单、操作方便、不处理废物、不污染环境等优点。但是，金属电镀漆面附着力它不能去除碳，以及其他非挥发性金属材料或金属氧化物残留物。光刻胶的去除过程中常采用等离子体清洗。在强电场作用下，少量氧气被引入等离子体反应体系，使氧气产生等离子体，迅速将光刻胶氧化为挥发性气体物质。这种清洗工艺具有操作简单、效率高、表面清洁、无需酸碱和有机溶剂等优点，受到越来越多的关注。。
等离子体清洗是利用被清洗表面的离子、电子、激发态原子、自由基及其与污染物分子的活化反应来去除污染物的过程。电子在清洁金属表面中的作用:等离子体中的电子与原子或分子碰撞，欧标金属电镀表面附着力形成被激发的中性原子或自由基(也称为自由基)，这些中性原子或自由基可以与污染物分子发生反应，清除金属表面的污染物。
等离子表面处理的优点： 1.等离子表面处理对物体进行表面处理时，欧标金属电镀表面附着力只作用于材料的表层，不影响或影响人体的自然性能。它还会影响表面的美观（仅在显微镜下可见）。到等离子表面处理后形成的“坑坑洼洼”表面） 2.等离子表面处理设备处理材料时，作用时间短，最高速度可达300m/min以上。对于等离子体、金属和其他材料，分子链赋予它们规则的结构、高结晶度和良好的化学稳定性，从而导致处理时间相对较长。
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其反应机理主要是利用等离子体里的自由基来与材料表面做化学反应，在压力较高时，对自由基的产生较有利，所以若要以化学反应为主时，就必须控制较高的压力来近进行反应。
三、氩气在等离子清洗机的外表活性及整理中，混合气相对而言可以获得更强的处理实际效果，遍及的是氩和氧的化合物。且因为氩的相对分子质量大，弱电解质后形成的颗粒物较为重，在静电场的成效下氩正离子的机械能高过其他活性汽体，其实际效果更明显。。等离子体一般是在高压或高温的气体中产生，当等离子设备中的等离子体里面的粒子能量达到一定程度后就会发光，此时电压或温度一般较高。
要制作真空室，需要一个强大的气泵。真空等离子体技术不具备在线联动功能。3.高压等离子体技术高压等离子体是由特殊的气体放电管产生的。这种等离子体对表面处理并不重要。大气压等离子体处理技术：大气压等离子体是在大气压下产生的。常压等离子体处理技术成本低、性能好，作为真空等离子体和电晕工艺的工艺替代和改进，得到了广泛的应用。大气等离子体技术的优势之一在于其在线集成能力。
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