虽然在等离子体清洗机中使用纯氢清洗表面氧化物是有效的，刻蚀工艺的原理和目的但这里主要考虑放电的稳定性和安全性，氩氢混合物更适合等离子体清洗机的应用。此外，对于易氧化或易还原的材料也可以采用等离子清洗机，将氧气、氩气、氢气的清洗顺序颠倒，达到彻底清洗的目的。气体在等离子清洗机中的应用实例:金属表面脱油和清洗:金属表面经常有油脂、油、氧化层等有机物。
它只涉及材料的表面，刻蚀工艺的原理和目的不影响基体的性能。。等离子清洗机的清洗优点有九:等离子清洗机是一种高科技技术，使用等离子达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是一种物质状态，也被称为第四物质状态。给气体施加足够的能量使其游离成等离子体状态。活性组分包括:离子、电子、活性基团、激发态核素(亚稳态)、光子等。等离子体清洗机就是利用这些活性组分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗的目的。
等离子体清洗机是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，刻蚀工艺的原理和目的从而达到清洗的目的;等离子清洗机激活功能:当等离子体处理的表面相遇,使材料表面产生化学和物理函数,其表面分子链结构改变,建立一个自由羟基和羧基团体,这些团体的各种涂层材料必须促进粘合剂的作用,在胶粘剂和涂料应用程序进行了优化。
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