用于真空系统的大腔等离子清洗机。它的特点是低温等离子体能量高，路面附着力 摩擦力但低温等离子体密度相对较小，所以不需要配对，生产成本低。通常5到20千瓦。射频电源:工作频率13.56mhz，输出功率从0到600w可调，全智能真空系统电容适配器。此外，还可配中频电源，工作频率为40KHz，输出功率在0- 5kw，可调13.56mhz又称射频电源，是一种常见的电源类型，其特点是低温等离子体能量低，但低温等离子体密度高。
当向气体施加足够的能量以使其电离时，路面附着力 摩擦力它就会变成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、激发核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁剂通过发挥这些活性成分的特性来处理样品表面，以满足清洁和其他需求。等离子体与固体、液体和气体一样，是物质的状态，也称为物质的第四态。当向气体施加足够的能量以使其电离时，它就会变成等离子体状态。
的各种气体等离子清洗机的清洗效果是不同的,因为材料的等离子体清洗是不一样的,要求是不同的,治疗各种过程,会选择相应的气体,根据清洁的程度,调整输入气体的比例,清洗停留时间等参数。目前等离子清洗机常用的气体有空气、氧气、氩气、氢气、氩氢混合气、CF4等。每种气体的特性不一样，路面附着力 摩擦力清洗效果也不一样。有的还会选择混合气体，即多种气体混合在一起达到最佳的清洗效果。
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在等离子体条件下研究了在 MGO/Y-AL2O3、CAO/Y-AL2O3、SRO/Y-AL2O3 和 BAO/Y-AL2O3 的作用下 CO2 氧化 CH4 生成 C2 烃的反应（表 4）。-2） .与载体 Y-AL2O3 的结果相比，CH 转化率有所下降，但 C2 烃的选择性提高了 40 多个百分点，表明酸性载体上负载的碱性活性组分可以提高催化活性。
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