等离子器具中的离子或高活性原子与表面污染物碰撞或形成挥发性蒸气，为什么重涂后附着力变差然后通过真空系统去除，以达到净化表面的目的。在高频电磁场中，空气中的氧气如甲烷。在电弧放电的情况下，水蒸气等蒸气分子可以在高速电磁场中净化低压氧气。当电子被电磁场加速时，它会获得高能量并与周围的分子相互作用。或者，原子碰撞并重新激发原子中的分子或电子，电子本身处于激发态或离子态，物质存在的状态为等离子体。
在另一些情况下，为什么重涂后附着力变差 自由基与物体表面分子结合的同时，会释放出大量 的结合能，这种能量又成为引发新的表面反应推动 力，从而引发物体表面上的物质发生化学反应而被 去除。电子与物体表面的作用一方面电子对物体表面的撞击作用，可促使吸 附在物体表面的气体分子发生分解或解吸，另一方 面大量的电子撞击有利引发化学反应。由于电子质 量极小，因此比离子的移动速度要快得多。
通常情况下，附着力变大是什么情况物质以固态、商态和气态三种状态存在，但在一些特殊情况下可以以第四种状态存在，比如太阳表面的物质、地球大气层电离层的物质等。这类物质的状态称为等离子体态，也称为势物质的第四态。以下物质存在于等离子体中。高速运动的电子；处于活化状态的中性原子、分子和原子团（自由基）；电离原子和分子；分子解离反应过程中产生的紫外线；未反应的分子、原子等，但物质作为一个整体保持电中性。
常用的等离子体激发频率有三种：激发频率为 40kHz的等离子体为超声等离子体，为什么重涂后附着力变差13.56MHz的等离子体为射频等离子体，2.45GHz的等离子体为微波等离子体。不同等离子体产生的自偏压不一样，超声等离子体的自偏压为 0V左右，射频等离子体的自偏压为250V左右，微波等离子体的自偏压很低，只有几十伏，三种等离子体的机制不同。
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等离子清洗机（Plasma Cleaner）又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。
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