等离子清洗机可以处理多种材料:包括塑料、金属、汽车制造、纺织行业、电子行业、半导体封装行业、LED行业甚至生物领域。等离子体清洗机主要适用于各种材料的表面改性:表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面接枝、表面沉积、表面聚合和等离子体辅助化学气相沉积。
例如,薄膜电晕处理的作用电子产品中,LCD/OLED屏幕的镀膜处理,PC塑料边框的预粘接处理,机壳、按键等结构件的表面注油丝网印刷,PCB表面的去胶去污清洗,镜片贴胶前处理,电线电缆喷码前处理,汽车行业灯罩、刹车片、车门密封胶等贴胶前处理;机械行业金属件精细无害化清洗处理、镜片镀前处理、各种工业材料间粘接密封前处理、三维物体表面改性处理等。PII技术已成功地应用于非金属材料的离子注入。
等离子体中粒子的能量通常在几到十电子伏特左右,薄膜电晕处理的作用比高分子材料的成键能(几到十电子伏特)还要大。它能完全打破有机大分子的化学键,形成新的键,但远低于高能放射线,只涉及材料表面,不影响基体的性能;等离子体表面处理设备技术在塑料和橡胶(陶瓷、玻璃)行业的应用:聚丙烯、PTFE等橡塑材料是非极性的,这些材料没有等离子体表面处理设备的印刷、粘接、涂布效果很差,甚至无法进行。
超声波清洗:众所周知,塑料薄膜电晕处理检测仪人们听到的声音是频率为20~20000Hz的声学信号。20000Hz以上的声波称为超声波,声波的传输按照正弦曲线纵向传播,即一层强一层弱,依次传输。当微弱的声信号作用于液体时,会对液体产生一定的负压,这种负压会在液体中形成许多微小的气泡。当强声信号作用于液体时,会对液体产生一定的正压力,从而使液体中形成的微小气泡被粉碎。
薄膜电晕处理的作用
从名称上看,清洗不是清洗,而是加工和反应。从机理上看:等离子体清洗机在清洗中通过工作气体在电磁场的作用下激发等离子体与物体表面发生物理反应和化学反应。其中,物理反应机理是活性粒子轰击待清洗表面,使污染物从表面分离,最后通过真空泵吸走;其化学反应机理是各种活性颗粒与污染物反应生成挥发性物质,再通过真空泵将挥发性物质吸走,从而达到清洗的目的。
等离子清洗可大大改善工件外观的粗糙度和亲水性,有利于银胶铺贴和贴片,共同作用可大大节省银胶用量,降低成本。2.引线键合前:芯片与基板键合后,经过高温固化,其上的污染物可能包括微粒和氧化物等,这些污染物可能会从物理和化学反应中造成引线与芯片、基板之间的焊接不完全或粘合不良,导致键合强度不足。引线键合前的等离子清洗显著提高了其外部活性,进而提高了键合丝的键合强度和张力均匀性。
该反应可以通过微波、电流柱放电和射频等离子体实现。Liu以He为平衡气体(占总气体流量的60%~80%)通过流动塔排出。在一定的放电功率下,甲烷转化率为20%~80%,二氧化碳转化率为8%~49%,碳二烃产率为20%~45%。陈东亮等。在微波等离子体等离子体作用下直接转化CH4和CO2,一步制得C2烃。反应中主要的C烃产物为C2H2和C2H6,等离子体功率的增加有利于C2H2的生成。姚等人。
当向气体中加入足够的能量使其电离时,它就变成了等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括:离子、电子、活性基团、激发核素(亚稳态)、光子等,等离子体处理器是指利用这种活性成分的性质对样品表面进行清洗,进而达到光刻胶清洗、改性、灰化等目的。等离子体处理器的结构分为三大组成部分,即控制单元、真空腔和真空泵。
薄膜电晕处理的作用
真空等离子体清洗机等离子体中存在鞘层现象:由于等离子体一开始处于准电中性状态,塑料薄膜电晕处理检测仪如果等离子体中悬浮着一个不导电的绝缘基片,基片中的离子和电子都会向基片移动,单位时间内到达基片的电子数远大于离子数。到达衬底的电子部分与离子重新结合,其余的都是离子,所以碱基底面会发生负电荷积累,从而在衬底表面形成负电位。这个负电位排斥随后的电子,吸引正离子。当衬底的负电位达到一定水平时,离子流就会变成电子流。
该反应为纯化学反应,薄膜电晕处理的作用属于各向同性蚀刻。等离子边缘蚀刻机是通过特殊的反应室结构设计,只对晶圆边缘区域进行清洁蚀刻,对减少缺陷数量、提高成品率有很好的效果。1.电容耦合等离子体机:对两个平行板电容器施加高频电场,反应室中的初始电子在射频电场作用下获得能量,轰击刻蚀气体使其电离,产生更多的电子、离子和中性自由基,形成动态平衡的低温等离子体。