等离子体脉冲技术于20世纪80年代末被报道，电晕等离子处理设备并用于等离子体物理的基础研究。研究发现，等离子体脉冲刻蚀技术可以解决传统连续等离子体刻蚀中遇到的许多问题，特别是对于含有负电荷等离子体的刻蚀工艺。与传统的连续等离子刻蚀相比，等离子清洗机等离子脉冲技术可以获得高选择性、高各向异性和轻电荷积累损伤的刻蚀工艺，并且可以提高刻蚀速率，减少聚合物的产生，增加刻蚀均匀性，减少紫外辐射损伤。
符合要求的蚀刻均匀性是芯片成品率的保证。就等离子清洗机蚀刻的各向异性而言，电晕等离子处理设备它直接定义了蚀刻微结构的侧壁轮廓。潜在等离子体损伤(PID)对器件的工作性能有很大影响。对于传统的连续等离子体刻蚀，当器件尺寸减小到14nm节点以下时，实现上述刻蚀目标变得越来越困难。为了应对这些挑战，等离子体清洗机等离子体脉冲刻蚀技术得到了发展，并逐步应用于工业。
低温等离子体处理可引起材料表面的刻蚀、交联和基团引入，脉冲电晕等离子体处理技术进而显著改变材料的表面特性，如亲水性、疏水性、沿表面闪络电压、表面电荷耗散、空间电荷积累等。变频电机匝间绝缘间局部放电也是发生在气隙内材料表面的一种气体放电，其工作电压为方波脉冲电压。当脉冲极性反转时，由于材料表面电荷的色散特性，气隙中的放电强度会加剧。因此，可以使用低温等离子体表面处理只是改变材料的表面而不影响其内部基底结构的优越特性。
低温等离子表面处理设备代替底漆，电晕等离子处理设备从而降低生产成本等离子体表面处理技术可以快速彻底地消除物体表面的污染物，可以增加这些材料的粘度，亲水性、焊接强度、疏水性和电离过程都可以容易控制和安全重复。是提高产品可靠性的理想表面处理技术。通过等离子体设备的表面活化、蚀刻和表面沉积，等离子体技术可以提高大多数物质的性能：清洁度、亲水性、拒水性、附着力、标记性、润滑性和耐磨性。
电晕等离子处理设备
由于等离子体中原子的电离、复合、刺激和迁移，会产生紫外线，光子能量也在2～4eV范围内。显然，在等离子体设备中，粒子和光子所给予的能量是很高的。。很多接触过等离子设备的人都知道，我们的等离子设备只是行业的总称，它可以分为常压等离子设备、真空等离子设备、卷对卷等离子设备等多种类型。
等离子体发生器考虑到材料表面层的硬度、蚀刻和粗糙度不同，结合效果不同，所以结合材料的剪切强度值不同。。等离子体发生器设备用半导体材料/LED解决方案；等离子体发生器设备的半导体材料/LED解决方案，基于电子元器件的等离子体在半导体材料行业的应用，以及基于电子元器件的各类元器件和布线都非常细致，因此过程中容易产生粉尘、有机物等环境污染，容易造成晶圆损坏和短路。
随着原材料和技术水平的发展，地埋式通孔结构的促进作用会越来越小，越来越精细化；通孔电镀时采用传统的化学去除胶渣方法会越来越困难，而真空等离子设备的清洗方法可以很好的克服湿胶除渣的缺点，对于通孔或微孔可以促进更好的清洗辅助，保证通孔镀孔时有更好的驱动效果。。
4.其他如等离子刻蚀、活化和涂层鉴于等离子清洗机加工的基本功能和主要用途有这么多的途径，所以电子光学、光电材料、光通信、电子器件、电子光学、半导体材料、激光器、加工芯片、珠宝首饰、显示信息、航空工程、生物科学、医学、口腔医学、生物学、物理学、有机化学等各个领域的科技创新和制造。。由于等离子体清洗技术是为了实现材料表面的活化和刻蚀，处理后的材料表面亲水性、粘附性和附着力将得到大幅提升。
电晕等离子处理设备
丙烷为饱和烷烃，电晕等离子处理设备直接利用子午线价值低；但丙烯缺口较大，因此有必要研究丙烷烯烃化。中国拥有丰富的天然气和化石能源。随着天然气、油田天然气和炼厂天然气的不断综合利用，丙烷在天然气、油田天然气和炼厂天然气中的含量迅速增加。因此，丙烷技术的发展对于合理利用丙烷、开辟丙烯新来源具有重要意义。目前丙烷脱氢主要有三种途径：丙烷高温蒸汽裂解、丙烷催化脱拉顿和丙烷氧化脱氢。
