(1)原子团等氧自由基与物体表面的反应：氧自由基是电中性的，驱动力反力对附着力的影响主要出现在化学反应过程中能量转移的活化中。与物体表面的分子发生化学反应，不断产生新的氧自由基，释放出大量的键能，驱动新的表面反应，引起化学反应和去除。
等离子蚀刻机又称等离子蚀刻机、等离子平面蚀刻机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子蚀刻机技术是干式蚀刻的一种常见形式，驱动力反力对附着力的影响其原理是暴露在等离子体气体形成的电子区域，产生等离子体并释放出高能量的电子气体，形成等离子体或离子，当等离子体原子受到电场加速时释放出足够的力来接近材料或蚀刻表面，从而形成一个驱动力。在一定程度上，等离子体清洗实际上是等离子体刻蚀过程中的一种轻微现象。
还有的情况是，附着力的大小怎么判断自由基与物体表面的分子结合时，会释放出大量的结合能，而结合能又成为引发新的表面反应的驱动力，从而引发物体表面物质的化学反应而被清除。三。
当采用氢等离子体放电进行惰性气体等离子体表面处理时，附着力的大小怎么判断如果处理后的聚合物数据本身含有氧气，就会裂解大分子，形成大分子碎片进入等离子体，给等离子体系统供氧，也会发生氧等离子体的效应。如果数据本身不含氧，惰性等离子体处理后的新自由基（半衰期可达2~3天）和空气中的氧的作用也会导致氧与大分子链结合，因此，惰性气体等离子体处理含氧聚合物数据时，会出现交联蚀刻和引入极性基团的竞争响应。
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