13.56MHz等离子体电场中的频率振荡较高，射频等离子清洗机价位相对于40KHz射频等离子而言电子在转变方向之前的运动距离更短。这意味着在每个运动周期中能够到达器件表面的粒子数量更少，因此表面受到粒子撞击减少，从而降低了清洗的效率和效果，直接影响产品质量和产量。40KHz射频等离子体是最广泛使用和通用性好的等离子体技术，它应用于半导体、微电子、医疗和通用工业的宽广领域内。
当电流相同时，河南射频等离子清洗机价位射频等离子体鞘和等离子体区的分布比例基本相同。当电流密度为0.06A/cm2时，当放电间隙逐渐增大时，实验和计算都表明鞘层开始逐渐增大，而当极板间隙增大到500μm时，鞘层厚度基本保持在215μm以内保持不变。对等离子区的厚度来说，从 μm到900μm都是单调增加的。
该装置放弃了大面积均匀性的要求，河南射频等离子清洗机价位在直径2mm的范围内，采用CF()/He作为放电气体和70W的射频功率，在硅片上本得了5nm/s的刻蚀速率。这种装置可以认为是n-TECAPPJ所用装置的前身。由于其消耗的平均功率非常小，所产生的等离子体射流对环境以及被处理材料表面几乎没有什么热效应，因此可以将其称为“冷等离子体射流”。
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三、电浆清洗机适用行业 制药、印染、制造、化工、化纤等行业在运作过程中会产生大量挥发性有(机)污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧法等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用电浆清洗机处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。
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PCB & FPC 行业解决方案-等离子清洗 PCB & FPC 专业应用1、多层柔性板去除残留物：适用于环氧树脂胶（EPOXY）、亚克力胶（Acryl）等胶粘系统。与化学溶液相比，它更稳定、更完整，可以显着提高产量。 2.软板、硬板除胶：彻底去除浮渣，避免高锰酸钾溶液对软板PI的侵蚀，均匀腐蚀孔壁，提高孔镀层的可靠性和良率。
5、等离子清洗生物芯片、微流控芯片、沉积凝胶的基片。以上资讯是关于 等离子清洗机的应用案例和特点，希望对你有帮助，多谢关注和阅读！。1、用不同材料的钝化膜芯片进行等离子清洗试验中发现，研究膜层材料对等离子清洗过程的响应情况。试验中选取不同种类的氮化硅和聚酰亚胺钝化膜的芯片10只，经过多次等离子清洗后，放大200倍观察芯片表面的状态。
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