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1.等离子清洗机在导管、医用支架和隐形眼镜等许多医疗器械中,经常使用功能性涂层来提高生物相容性并减少有害的副作用。然而,这些医疗器械大多具有化学惰性表面和低表面能,这使得功能涂层难以粘附在表面上。等离子清洗剂可以改善表面性能并产生化学活性官能团,等离子清洗剂表面处理技术可以提高生物医学涂层的附着力。 2.金属、聚合物和硅胶可以用等离子清洁剂处理,以改善蛋白质吸附和细胞粘附。
简单而言,自动清洗台是多片同时清洗,的优势在于设备成熟、产能较高,而单晶圆清洗设备是逐片清洗,优势在于清洗精度高,背面、斜面及边缘都能得到有效的清洗,同时避免了晶圆片之间的交叉污染。45nm之前,自动清洗台即可以满足清洗要求,在目前仍然有所应用;而在45以下的工艺节点,则依赖于单晶圆清洗设备达到清洗精度要求。在未来工艺节点不断减小的情况下,单晶圆清洗设备是目前可预测技术下清洗设备的主流。
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等离子清洗过程涉及许多影响颗粒并直接影响去除效果的复杂物理过程,广东真空等离子处理机批发如等离子的产生和沉积能量的积累。直径为10~2纳米的颗粒分布在硅衬底表面,除极小的纳米颗粒外,大部分颗粒在等离子体的作用下被去除。等离子冲击波对去除微纳米颗粒的影响非常明显。直径大于 0.5 μm 的颗粒被完全去除,但小于该尺寸的颗粒基本去除了原始数量的 50% 左右。
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