等离子清洗机产生的气体是否对人体有危害？等离子清洗机通过等离子体产生的离子通过离子轰击材料实现物理和化学反应，由产生等离子体的气体和气体组合的不同，可以在处理表面产生不同的反应。
等离子体本质是“部分离子化了的气体”，由电子、离子、活泼自由基、分子四种形态组成。反应气体处在低的压力中，在电场的作用下获得能量，气体分子离子化，产生辉光放电。离子化气体分子影响或和进程中的材料分子反应，打破他们变成较小的分子而且变成挥发性的气体，通过真空泵排净。等离子处理过程是一个物理和化学相结合的反应。
等离子清洗机产生的气体是否对人体有危害？
在等离子清洗蚀刻中的反应气体主要有N2,Ar,He,O2，CF4，H2等，等离子体的化学作用过程，主要是高能正离子和自由基粒子的诱发反应。自由基的高度不稳定性使其在化学作用过程中能迅速实现能量传递和激发官能团的作用，处于激发状态的有机官能团，也具有不稳定的高能量状态，很容易发生裂解反应，生成稳定的气态分子，如水、二氧化碳、二氧化氮，SiF4等，SiF4即四氟化硅，其无色、有毒、有刺激性臭味的气体，氟化物对人体有害，少量的氟就能引发一系列的病痛。等离子清洗机产生的气体是否对人体有危害？00224659