五、真空等离子清洗机的特点:空气通常用作发生气体。 其特点是对气体的需求非常高。工业上常用中频作为刺激能源，纸张附着力不好原因频率在40KHZ左右。等离子体的工作形式通常是直接喷射和旋转的。在设备运行过程中，会产生对人体有害的气体，如超标臭氧和氮氧化物，必须与废气排放系统配套运行。。等离子体应用能够在较低的处理温度下进行超精细清洗，因此无需对组件进行额外干燥。
通常情况下，对纸张附着力好的树脂物质以固态、商业态和气态三种状态存在，但在一些特殊情况下可以以第四种状态存在，比如太阳表面的物质、地球大气层电离层的物质等。这类物质的状态称为等离子体态，也称为势物质的第四态。以下物质存在于等离子体中。高速运动的电子；处于活化状态的中性原子、分子和原子团（自由基）；电离原子和分子；分子解离反应过程中产生的紫外线；未反应的分子、原子等，但物质作为一个整体保持电中性。
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等离子清洗后的材料表面无油污，对纸张附着力好的树脂无需再加工，提高了整个工艺的加工效率。操作员可以避免有害溶剂的损坏。因此，它被完全（完全）洗涤。清洁物品不需要过多考虑形状，也可以处理多种材料。特别适用于不耐高温且不含溶剂的材料。因此，等离子清洗技术受到了极大的关注。等离子清洗机应用于印刷包装、汽车制造、生物医药、精密电子设备等行业，包括医疗器械领域。
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在射频等离子体器件氮化过程中，等离子体的产生与衬底偏压的控制是分离的，因此可以分别控制离子能量和衬底表面通量。由于工作压力较低，用气量相应减少。NH基团是由低能直流辉光放电氮化产生的。有了这些高活性基团，整个过程需要一个外部电源来加热工件，这类似于气体氮化。该工艺不仅可以控制表面拓扑，还可以选择是否形成复合层，在不改变表面结构特征的情况下控制复合层的厚度和扩散层的深度。
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