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表7.4EM早期失效模式与两种关键深宽比的关系晶圆通孔深宽比斜面深宽比早期失效模式值等级值等级通孔斜面W15.6高2.11高有有W24.84中等2.16高有有W34.57低1.96中等无有W44.57低1.75低无无在保持通孔底部尺寸一样的情况下,通过调节蚀刻工艺,增大通孔斜面处开口大小并呈现 圆滑的形貌,能改善上行EM而且不带来其他副作用。

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将N-异丙基丙烯-邻苯二甲酰胺单体带入作用区,在玻璃和聚苯乙烯表面制备了N-异丙基丙烯-邻苯二甲酰胺聚合物。等离子体清洁器主要是指工业设备或实验室中高温或蒸气放电产生的部分电离蒸气,与其他部件相互作用。等离子体主要通过交流或直流电源产生蒸气放电,具有相应的可靠性。等离子体清洁器主要以蒸气放电的方式发生。

亲水性疏水性表面能的关系

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