目前全自动等离子设备清洗系统大多是基于环保无污染的高压水射流技术。无臭、无味、无毒的水介质优于化学清洗方法，介质plasma表面清洗机器对环境无污染，更加绿色环保。由于等离子设备清洗系统处于自动化程度较高的阶段，系统控制运行相对稳定，改变了传统清洗过程中监管粗放、调节不严的问题。特别是在化工油罐车等危险行业，自动清洗系统大大提高了清洗的安全性。
等离子体光学玻璃镜片、树脂镜片、UV/IR镜片解锁等离子体，介质plasma表面清洗机器采用热转印工艺，在一定的真空负压条件下，电气体可以转化为能量很高的气体等离子体，气体等离子体轻轻清洁样品的固体表面，导致产品表面超净有机污染物分子结构的变化，在很短的时间内实现超净，超净样品表面的有机污染物。样品的表面特性在一定条件下会发生变化。由于采用蒸汽作为清洗介质，可以有效地避免样品的再次污染。
当等离子体发生器的电流增加(10 ~ 10安瓿)时，介质plasma活化机阴极被快离子轰击并释放电子。这些电子在电场的作用下加速到阳极。在阴极附近存在一个电位差较大的阴极电位降区。等离子体发生器电极之间的中间部分为低电位梯度的正柱区，其中介质为非平衡等离子体。正柱中的电子和离子以相同的速度向壁面扩散，在那里它们重新组合并释放能量(这是在没有气体对流的情况下)。在经典理论中，电子密度在截面上的分布是贝塞尔函数的形式。
在相同的存储介质中，介质plasma活化机环境温度越高，分子链获得的能量越多，分子链段的运动越强，表面极性基团的反转越快，时效性越显著。然而，如果存储环境是亲水的，即使在更高的温度下，也可以抑制聚合物材料表面极性基团的损失。亲水性存储介质有利于材料表面产生极性·75·低温等离子体对高分子材料表面改性时效性的研究进展/任宇等，基团仍然留在材料表面;疏水存储环境导致材料表面的极性基团倒转到基体中。
介质plasma表面清洗机器
石英和陶瓷是常用的媒体窗口数据。此外，电感耦合ICP源还具有电容耦合。介质窗作为线圈与等离子体之间的耦合层，是一个电容。当线圈的输出电压达到2000V时，就会形成电容耦合。这种电容性高电压可以点燃和维持等离子体放电，另一方面，部分高电压的形成也会引起介质窗的蚀刻，从而形成颗粒可能构成晶圆沾污。以减少体积一般采用线圈末端串联的法拉第屏蔽或接地电容。图9法拉第屏蔽ICP源结构。
通过比较不同内鞘层的玻璃戒指,发现不同大小的玻璃戒指鞘层的分布粒子径向约束,进一步分析实验结果,发现在相同的实验条件下,不同玻璃环直径没有影响等离子体鞘层厚度,护套厚度和压力、放电功率、介质材料等，取决于等离子体参数。比如电子密度和电子温度。研究结果对进一步研究不同结合条件下带电粒子在等离子体鞘层中的复杂运动以及等离子体鞘层对加工的影响具有重要意义。。
强表面蚀刻等离子清洁功能 强等离子清洗机,大量等离子体离子的激发态分子、自由基等活性粒子,固体样品表面效果,不仅除了最初的表面污染物和杂质,并产生蚀刻效果的材料表面加工达到点蚀蚀刻的效果，形成许多细微的凹坑，增加了材料的比表面。提高材料之间的附着力和耐久性以及材料表面的润湿性。
铝合金经大气等离子体表面处理器射流清洗后，表面可自由强化，这主要是由于等离子体表面N元素粒子、表面氧原子和活性物质的氧化作用。大气等离子体表面处理对船体钢表面粗糙度影响不大。显然，经过等离子表面处理器的清洗后，材料表面的油污染物被去除，从而提高了材料表面的亲水性，从而增加了表面自由能。
介质plasma活化机
典型的组合如下:1。DI A泵(如旋转叶片泵)产生预真空。它被称为“前泵”。作为第二泵，介质plasma活化机采用罗茨泵提高泵速。罗茨泵的工作原理，也被称为摇臂柱塞泵或罗茨鼓风机，是旋转柱塞泵，两个对称设计的旋转或滚动活塞在一个输送箱中向相反的方向滚动。转子的横截面约为8，并通过齿轮传动同步，使他们留下小间隙，因为他们通过彼此和墙壁的住房，而没有接触到对方。吸气法兰中的容积在活塞位置I和II处增大。
近十年来，介质plasma表面清洗机器在不同规划的托卡马克装置上完成了各种改进的等离子体结合操作模式，形成内部和边界输运屏障，使某些区域和输运通道(主要是离子热输运)的输运系数降低到新古典理论预测的水平。聚变三重产物达到或接近达到氘氚热核聚变反应得失的等效条件，与氘氚聚变点火条件相差不到一个数量级，表明托卡马克具备了研究燃烧等离子体物理和聚变反应堆集成技术的条件。
