等离子体放电过程中产生的臭氧的基本原理是含氧气体在放电反应器内所形成的低温等离子体氛围中，等离子体功能化二氧化铪一定能量的自由电子将氧分子分解成氧原子之后通过三体碰撞反应成臭氧分子，同时也发生着臭氧的分解反应。所以大家才会闻到臭味，但是等离子清洗机的产生的臭氧的量是十分微小的，对人体是毫无伤害的。
等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。二、金属表面去油及清洁金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，等离子体功能化二氧化铪在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。
70年代以来，等离子体放电原理与材料处理下载低气压等离子体发生器对非金属固体（如玻璃、纺织品、塑料等）的表面处理及改性技术也有迅速发展。 等离子发生器的主要工作原理是将低电压通过升压电路升至正高压及负高压，利用正高压及负高压电离空气（主要是氧气）产生大量的正离子及负离子，负离子的数量大于正离子的数量（负离子的数量大约为正离子数量的1.5倍 ）。
适合大批量生产，等离子体功能化二氧化铪对生产环境要求不高。表面等离子体处理装置（等离子体清洁器）是一种激发电源以将气体电离成等离子体状态的装置。等离子体作用于产品表面，清洗产品表面的污染物，提高其表面活性。增加其粘合强度。等离子清洗是一种新型、环保、高效、稳定的表面处理方法。手机行业：主轴、中框、后盖表面清洁活化。印刷电路板/FPC行业：钻孔污染和表面清洁，Coverlay表面粗糙化和清洁。
等离子体功能化二氧化铪
（2）物理反应等离子体中的离子主要作为纯物理冲击去除物体表面的原子和物体表面沉淀的原子。压强较低时，离子的平均自由基较轻，存在能场积累。
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通常氧化层的绝缘击穿是在高电压下瞬时发生的，而实际上，即使所加电压低于临界击穿电场，经过一段时间后也会发生击穿，这就是氧化层的经时击穿。大量实验表明，这类击穿与外加应力和时间有密切关系。在HKMG技术中，栅极电介质由high-k材料氧化铪代替原先的氧化硅，GOI就改称为GDI(Gate Dielectric Integrity)。
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