等离子体表面处理设备去除钻孔污染的研究较多。研究了等离子体腔的刻蚀速率分布研究了聚酰亚胺、丙烯酸胶粘剂和环氧树脂在刚柔结合板中的腐蚀速率与等离子体参数的关系。当柔性板为单板或双板时，fpc软板盲孔清洁采用直接超声清洗和黑洞孔金属化的预处理工艺可以满足要求。当FPCB有8层以上或刚性柔性粘接板时，常采用等离子清洗和化学镀铜来完成电镀前处理。
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(1)1953年,杜邦公司申请聚酰亚胺产品证书(证书号:(2) 1960年，fpc软板盲孔清洁V. Dahlgreen发明了将金属箔粘接在热塑性塑料薄膜上以制作电路图形的工艺，该工艺要求对聚苯乙基酰亚胺树脂、膜和管进行保护。FPC产品的开始。(3)在1969年,荷兰飞利浦发达与聚酰亚胺FPC (FD-R)制造。(4)在1977年,G.J.泰勒,一个美国人,提出多层刚性-柔性保税板的概念。
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根据研究,平均电子能量一般等离子体在1-10eV之间,高于10电动车更有影响的离解和电离气体分子,和电子能量的大小通常是密切相关的放电条件下,电极结构、电力和频率。大气压等离子体清洁器中的电离辐射。当等离子体发射时，电磁波产生电离辐射开枪。气体放电产生的等离子体通常伴有发光，其颜色与反应气体的类型有关。除了发射可见光外，紫外线和x射线本质上是电磁波。
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