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选择“（图片5.3.2功能图片）”参数页面“（图片5.3.3参数图片）。更改洗涤时间或清除洗涤数据。 2.点击下一步进入手册页，设置氧气和氩气阀门打开，返回主机界面。 3.调整功率。功率调节范围为80%到%，根据实验需要进行调节。四。放置要处理的对象在型腔内，关闭型腔门并按下启动按钮开始疏散。五。一旦腔体产生辉光，根据实验要求手动调节流量计旋钮添加辅助气体。 6.达到处理时间后，平衡阀自动恢复，3秒左右恢复到常压。
流量 300sccm ,.上电极功率300W，时间Ss； 4、等离子清洗方式，气体冲洗工艺工艺参数设置如下：腔体压力10-20底，工艺气体流量-300sccm，时间1-5s；启动工艺工艺参数设置如下：（腔体压力10-20 mtorr，工艺气体流量-300ccm，顶部电极输出250-400W，时间1-5s；特点5，等离子清洗方式，气体1。
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