深圳市金徕技术有限公司
ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.
型号 | JL-VM150 | |||
等离子源系统 | 频 率 | 13.56MHz 射频 | 40KHz 中频 | |
功 率 | 0~1000W可调 | 0-5000W可调 | ||
选 配 | ||||
真空系统 | 真空腔体 | 材质 | 316L不锈钢、航空铝（选配） | |
腔体内部尺寸（MM） | 500*600*500（宽*高*深) | |||
腔体容积 | 150L | |||
极板 | 17层，水平式，活动可调节 | |||
密封性 | 军工级焊接密封 | |||
泵 | 泵组 | 油泵/干泵+罗茨泵组合（选配） | ||
真空管路 | 不锈钢管、不锈钢波纹管 | |||
真空计 | 1×105~1×10-1Pa | |||
质量流量计 | ＜±1% FS | |||
气路控制 | 2-4路处理气体气路，气体流量可调 | |||
极限真空 | 5Pa | |||
适用气体 | 流量范围 | 0-500SCCM（可调） | ||
工艺气体 | Ar、N₂、O₂、H₂等等（可选） | |||
控制系统 | 1、PLC 自动控制； | |||
2、7寸触摸屏,图形用户界面； | ||||
3、配方程序为 0~99； | ||||
4、多级权限操作； | ||||
5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息； | ||||
6、存储工艺数据及错误信息； | ||||
7、报警信息提示及追溯； | ||||
8、图形化界面检测处理参数； | ||||
9、自动、手动操作可切换； | ||||
10、维护提示紧急停止按钮； | ||||
11、门感应器和真空互锁； | ||||
12、机器运行信号指示； | ||||
13、机器运行结束提示； | ||||
外观参数 | 外形尺寸(MM) | 850*1700*1020(宽*高*深） | ||
重 量 | 700KG | |||
设施配置 | 电 力 | 五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定 | ||
压缩空气 | 干燥压缩空气CDA | |||
其 它 | 提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单. | |||
对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等，表面进行清洗，活化改性，去有机物，去氧化物，去颗粒；提升亲水性，增强粘接性，附着力，分子活性。
对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等，表面进行清洗，活化改性，去有机物，去氧化物，去颗粒；提升亲水性，增强粘接性，附着力，分子活性。
