真空等离子清洗机 60L

产品型号 JL-VM60
产品类别 真空等离子清洗机
应用范围
微组装模块的引线键合前清洗，清洗过程不会损伤裸芯片等敏感、易损器件；对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等，表面进行清洗，活化改性，去有机物，去氧化物，去颗粒；提升亲水性，增强粘接性，附着力，分子活性。

微组装模块的引线键合前清洗，清洗过程不会损伤裸芯片等敏感、易损器件；对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等，表面进行清洗，活化改性，去有机物，去氧化物，去颗粒；提升亲水性，增强粘接性，附着力，分子活性。

型号	JL-VM60
等离子源系统	频率		13.56MHz 射频	40KHz 中频
	功率		0~1000W可调	0-3000W可调
			选配
真空系统	真空腔体	材质	316L不锈钢、航空铝（选配）
		腔体内部尺寸(MM)	400400400（宽高深)
		腔体容积	60L
		极板	5层极板5层托盘可拆卸式,层间距30mm，水平式，活动可调节
		可放最大产品尺寸	320mm*280mm
		密封性	军工级焊接密封
	泵	泵组	油泵/干泵+罗茨泵组合（选配）20㎥/H
		真空管路	不锈钢管、不锈钢波纹管
	真空计		1×105~1×10-1Pa
	质量流量计		＜±1% FS 质量流量控制（MFC）系统
	气路控制		2-4路处理气体气路，气体流量可调
	真空度基础压力设定范围		10Pa-50Pa
适用气体	流量范围		0-500SCCM（可调）
	工艺气体		Ar、N₂、O₂、H₂等等（可选）
控制系统	1、PLC 自动控制；
	2、7寸触摸屏,图形用户界面；
	3、配方程序为 0~99；
	4、多级权限操作；
	5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；
	6、存储工艺数据及错误信息；
	7、配备声光报警装置,报警信息提示及追溯；
	8、保护功能：工作气体耗尽报警、压缩空气力低于设定值报警、反应仓泄露率过大报警、控制面板处设急停按钮等
	9、免静电清洗等多种清洗模式
	10、图形化界面检测处理参数；
	11、自动、手动操作可切换；
	12、维护提示紧急停止按钮；
	13、门感应器和真空互锁；
	14、显示功能：工艺参数显示；运行时间显示；工艺过程实时监视并显示运行状态，如泵的、射频电源监视并显示运行状态，如泵的、射频电源监视并显示运行状态，如泵的、射频电源质量流量等；故障报警，提示项目
	15、机器运行信号指示；
	16、机器运行结束提示；
	17、设备无WIFI，无蓝牙，无读卡器等相关装置
外观参数	外形尺寸(MM)		85017001020(宽高深）
	重量		320KG
设施配置	电力		五线线三相制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定
	整机功率		2KW
	压缩空气		干燥压缩空气CDA 0.5MPa
	其它		提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单.