(C, H, O, N) + (O + OF + CO + COF + F + E ) & RARR; CO2 & UARR; + H2O & UARR; + NO2 + 化学:HF + SI & RARR;SIF+H2HF+SIOSIF+H2O在等离子体化学反应中起化学作用的粒子主要是阳离子和自由基粒子。

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2.等离子体中包含了大量的高能电子、离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基,电镀件喷涂附着力增强剂这些活性粒子的平均能量高于气体分子的键能,它们和有害气体分子发生频繁的碰撞,打开气体分子的化学键生成单原子分子和固体颗粒,同时产生的大量·OH,·H2O,·O等自由基和氧化性极强的O3和有害气体分子发生化学反应生成无害产物。。

电子与物体表面的作用由于电子与物体表面的碰撞,电镀件喷涂附着力增强剂会促使吸附在表面的气体分子分解解吸,而电子的大量碰撞则有利于产生化学反应。因为电子质量很小,所以比离子的移动速度要快得多,在等离子体处理过程中,电子比离子早到达物体表面,使表面产生负电荷,有利于引起进一步的反应。

等离子清洗机的应用下,电镀件喷涂附着力增强剂负载型镧系元素氧化物催化剂CO2将CH4氧化成C2:负载型镧系元素氧化物催化剂具有良好的OCM反应活性。 LA203 / ZNO 在催化活化的 CO2 反应将 CH4 氧化为 C2 烃时表现出高达 97% 的 C2 烃选择性(甲烷转化率为 850。在°C 时为 2.1%)。基于 LA2O3 的催化剂产生更高的 CH4 转化率 (27.4%) 和 C2 烃产率 (10%)。

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当电子输运到表面清洗区域时,与清洗表面吸附的污染物分子发生碰撞,会促使污染物分子发生分解而产生活性自由基,这会有利于引发污染物分子的进一步活化反应;而且,质量很小的电子比离子运动要快得多,因此电子要比离子更早到达物体表面,并使表面带有负电荷,从而有利于引发进一步活化反应。 一般情况下,等离子体中自由基的存在数量比离子多,呈现电中性,寿命比较长,且具有大的能量比较高。

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