尽管这些气体通常相对活泼、有毒且具有腐蚀性，yamato等离子体刻蚀但在使用这些特殊气体时应格外小心，因为它们是某些集成电路制造工艺步骤的重要材料来源。特殊气体通常使用单独的压力钢瓶。它被输送到半导体。晶圆厂通常存储在单独的存储室中，气体通过一系列控制、稳压、切换和清洁系统连接到工艺室，例如等离子蚀刻室。该储藏室还应配备用于气体纯度测试的过滤系统和相应的安全装置，例如泄漏报警器和火灾报警器。
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