A、自由基和其他自由基与物体表面发生反应tb。自由基在等离子体中起着重要的作用，增强附着力涂层的作用因为它们是电中性的，具有更长的寿命，并且在等离子体中比离子更丰富。
大气等离子体清洁器硅芯片是高度敏感的电子元件。随着这些技术的发展，增强附着力涂层的作用低温等离子体表面处理作为一种制造技术也得到了发展。在常压下，等离子清洗机的工艺发展开辟了新的应用潜力，特别是对于自动化生产的趋势，等离子清洗机发挥着至关重要的作用。。等离子清洗技术做好直流电溅射表面的效果:离子清洗离子清洗技术通过直流电溅射在物体表面，可以蚀刻、激发和清洗物体表面。
利用等离子处理时会发出辉光，增强附着力涂层的作用故称之为辉光放电处理。 由于等离子清洗机所释放出的这种等离子体属于气态的性质，所以对物体表面的粗糙程度、弯曲、空隙等各种形状都能起到很到的清洗作用且不会损害被处理面。
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等离子体中的高能电子在等离子体技术分解气态污染物中起着决定性作用。数万度的高能电子与气体分子(原子)非弹性碰撞，能量被转换为基分子(原子)的内能，发生激发、解离和电离等一系列过程，使气体处于活性(化学)状态。当电子能量较低(< 10eV)时，产生活性自由基，通过等离子体定向链式化学反应将被激活(化学化)的污染物分子去除。当电子的平均能量超过污染物化学键的结合能时，分子键断裂，污染物分解。
等离子体属于宏观中性的电离气体，其运动受电磁力支配，表现出显着的集体行为。冷等离子体的电离率低，电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可以与室温媲美。因此，冷等离子体是一种非热平衡等离子体。使用冷等离子体是因为有大量的活性粒子，这些粒子比正常化学反应产生的粒子更加多样化和活跃，并且更有可能与它们所接触的材料表面发生反应。
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