工业生产型真空等离子体清洗机连续运行时间往往在8小时以上，生产车间领用材料清洗设备在这种情况下，真空等离子体的优点在于真空反应室室内所有部件，包括反应腔体、电极板、支架及附件等表面温度较高，如果没有相应的辅助冷却循环系统，不带隔热手套的取放产品或物料容易被烫伤。同时，环境温度过高会对一些不耐温的产品或材料造成物理变形、表面变色或炭化，甚至影响等离子体处理的效果。那么如何解决真空等离子清洗机的散热问题呢?这是该行业的一大痛点。
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随着经济的发展，生产车间领用材料清洗设备人们的生活水平不断提高，对消费品的质量要求越来越高，等离子清洗设备将逐步进入消费品生产行业。此外，随着科学技术的不断发展，各种技术问题的不断提出，新材料的出现，越来越多的科研机构已经认识到等离子体技术的重要性，并投入大量资金进行技术突破，等离子体技术发挥了非常大的作用。我们相信等离子体技术的应用将会越来越广泛，随着技术的成熟和成本的降低，其应用将会更加普及。。
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晶圆封装成型前低温等离子设备清洗全过程整个晶圆加工完成后，直接在晶圆上进行封装成型和测试，然后将整个晶圆切割成单个珠粒;电气连接使用的是CopperBump，而不是wibond，所以没有布线和灌胶过程。硅片封装前等离子体处理的目的是去除表面的无机物，减少氧化层，增加铜表面的粗糙度，提高产品的可靠性。由于生产能力的需要，真空反应室的设计，电极结构，气流分布，水冷却装置、均匀性等方面都会有明显的差异。
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