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三、等离子处理的优点及作用(1)经过等离子处理以后,宁德等离子清洗机装置分子泵哪里有卖被清洗物体已经很干燥,不必再经干燥处理;(2)不使用有害溶剂,不会产生有害污染物,属于有利于环保的绿色清洗方法;(3)用无线电波范围的高频产生的等离子体方向性不强,可以深入物体的微细孔眼和凹陷内,特别适合用于线路板生产中盲孔以及微小孔的清洗;(4)整个清洗工艺流程在几分钟内即可完成,具有效率高的特点;(5)等离子清洗的最大技术特点是:它不分处理对象,可处理不同的基材;如金属、半导体、氧化物以及高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、据四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)等都可用等离子处理;(6)在使用等离子清洗时,去污的同时,还能改变材料本身的表面性能,如提高表面的润湿性能,改善膜的附着力等。
等离子体中含有大量光子、电子、离子、自由基、特定原子的激发态、原子和特定分子的激发态分子等,宁德等离子清洗机服务商为化学反应提供高活性的特定粒子,导致许多通常无法产生或需要极其苛刻条件的化学反应,变得易于在近室温下进行,为实现化学反应提供了新途径。对于多晶硅化工而言,从能耗控制、效率提升等方面考虑加氢、气相沉积等工艺,利用等离子体促进反应过程具有重要的实用价值和科研价值。
工作压强是等离子清洗的重要参数之一,宁德等离子清洗机服务商压强的提高意味着等离子体密度的增加和粒子,平均能量的降低,对化学反应为主导的等离子体,密度的增强能显著提高等离子系统的,清洗速度,而物理轰击主导的等离子清洗系统则效果并不明显。此外,压强的改变可能会引起等离子体清洗反应机理的变化。如硅片刻蚀工艺所采用的CF4/O2等离子体,当压强较低时离子轰击起主导作用,而随着压强的增加,化学刻蚀不断加强并逐渐占据主导作用。
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