失效时间与退化率为逆关系,陕西等离子处理设备定制因此是随电场强度指数减小的,具体表达形式为TF=A0exp(-ϒEox)exp(Ea/kBT)(7-10)其中,ϒ为电场加速因子;Eox为氧化物电介质层内电场强度;Ea为激活能;kB为玻尔兹曼常数;A0为与材料和工艺相关的系数,不同的器件其值不一样,A0的性质使TF成为一个分布,—般为威布尔分布。1/E模型又称为阳极空穴注入模型。
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