等离子清洗机电声学器件封装工艺应用在电声器件生产工艺过程中，胶粘表面亲水性能强弱及锡丝焊接前表面的氧化物及颗粒污染物存在的因素，会降低产品可靠性，影响产品质量。如在生产工艺前利用等离子清洗机进行清洗，则可有效增强可靠性、提高良品率、稳定高品质。
电声器件主要指扬声器、扬声器系统、传声器、耳机、受话器、送话器、送受话器组、各类通信帽和拾音器以及相关附件。存在问题：纵观动圈式受话器与扬声器生产工艺流程内，采用多次胶粘接工艺，比如其中支架与磁罩之间的胶粘接、音圈与音膜的胶粘接、盖板的粘接等，因封装器件表面上的约200nm厚度污染物存在，形成很大的疏水表面能，造成点胶时胶液流动性滞淌，封胶气泡多等现象；在多次的音圈锡丝焊接工艺过程中，器件表面存在的微颗粒、氧化物，及芯板上遗留孔壁上的残渣、污渍，后续的焊接不完全或粘附性差，造成焊接强度不牢，影响产品的良品率；
在声学器件封装工艺胶粘接及锡丝焊接工艺前，引入等离子体清洗工艺，可有效改善上述问题，从而提高声学器件的整体良品率，提升生产效率。
射频等离子清洗后是否有效果的一个检测指标为其表面的浸润特性。使用3D接触角测量仪测量水滴的入射角度，对其中几款型号声学器件进行试验检测，抽取一组数据，通过数据比对，与未进行射频等离子清洗相比，分析表面采用射频等离子清洗前样品接触角为46°～50°，如1图所示：采用射频等离子体清洗后的样品接触角为10°～12°，结论表明：声学器件表面的亲水性能获得大大提高，黏胶的流动及浸润提升很大，提高器件的粘接强度性能。
射频等离子清洗前后入射角对比
通过推拉力测试仪测量锡丝焊线的拉力强度，就引进等离子体清洗工艺的前后数据对比，引进该清洗工艺，由此显示：锡丝焊接的焊线拉力提高了约10%强度数据值。图2结论表明：该工艺的采用增强了锡丝焊接的牢固可靠性能，产品良品率提高了达5%。进一步说明在动圈式受话器与扬声器生产工艺流程中引入射频等离子清洗工艺对于声学器件的质量效益是有很大作用的。
锡丝焊线焊接前后引线拉力对比
综上所述，等离子体清洗技术的采用，一方面可使声学器件在点胶封装工艺过程中使被覆表面粗糙化，提高了器件表面粗糙度，改良了被覆表面的结合能，大大提高了其亲水性能，利于胶液的流淌平铺，改善了粘合效果，降低胶粘工艺过程中气泡的成形，利于器件工艺间的枝接结合；另一方面在锡丝焊接工艺上从物理和化学两种反应方式并存处理，可有效去除多次烘烤固化时表面的氧化层及有机污染物，从而提高了锡丝焊线的键合拉力，增强了引线、焊点和基板之间的焊接强度，进而提高良品率，提升生产效率。
等离子清洗技术作为使物质通过真空状态下吸收电能进行的干式气相化学和物理反应，具有彻底式剥离清洗，无污染、无残留的特点，相比于湿法药剂的清洗，不仅降低了企业的生产成本，提高了生产效率，而且有效利用绿色资源、有益于环境生态建设。等离子清洗机电声学器件封装工艺应用00224690