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在清洗过程中,高能电子会引起气体分子的高能电子碰撞,使其解离或电离,并轰击清洗后的表层或与清洗后的表层发生反应,有效去除各种污染物;同时,它还可以加速材料本身的表面性能,如加速表面层的润湿性和附着力,在很多应用中具有重要意义。

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